 기본정보 |
설비번호 |
10122537 |
장비명(한글) |
 보호막용 플라즈마 화학 기상 증착기
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장비명(영문) |
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD) for Passivation |
제작사 |
TES |
모델명 |
TELIA200 |
| 상세정보 |
장비사양 |
Standard process : SiO2, SiN
Process Temperature : 250 ~ 400℃
Base Presuure : under 5mTorr
Wafer size : up to 8inch wafer
Gases : SiH4, N2O, O2, NH3, N2, NF3, Ar |
활용분야 |
SiO2 :high depositon rate at relatively low temperatures excellent breakdown characteristics.
hard mask, insulator, final passivation
SiN : high dielectric constant(as compared to that of silicn dioxide) imperviousness to water vapor and ion diffusion radiation shielding
etch stop materials, spacers for the suicide materials, dielectric layer |
| 장비운영인력 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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소속 |
나노융합기술원 |
성명 |
이정익 |
전화 |
054-279-0267 |
이메일 |
kb3000@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
장비명 |
유세포 분석기(High-end performance Flow Cytometer) |
제작사 |
BD Biosciences |
모델명 |
LSR Foretessa 4Laser |
설치장소 |
202-1호
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장비명 |
초고성능 자동 세포분석기(Ultra High-End Performance Flow Cytometry System) |
제작사 |
Beckman Coulter |
모델명 |
cyotoFLEX LX |
설치장소 |
729호
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장비명 |
질량분석기고성능 액체크로마토그래피 오비트랩질량분석기(High-performance Liquid Chromatography – Mass) |
제작사 |
Perkin Elmer |
모델명 |
Qsight220 |
설치장소 |
BOIC 4307호
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장비명 |
(GLOCAL)공간 전사체 탐침 이동 장치(in situ probe transfer for Spantial transcriptome analysis ) |
제작사 |
10xGENOMICS |
모델명 |
Visium CytAssist |
설치장소 |
BOIC [3311호]
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장비명 |
소동물용 체내 광학 영상 이미징 시스템(In vivo optical imaging system for small animal) |
제작사 |
Revvity |
모델명 |
IVIS Lumina III Imaging System |
설치장소 |
C5
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장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
Park Systems |
모델명 |
XE7 |
설치장소 |
C5 228호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Thermal Evaporating System) |
제작사 |
대동하이텍 |
모델명 |
DD-GT103R |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
패럴린 증착기(Parylene Deposition System) |
제작사 |
오방테크놀로지 |
모델명 |
OBT-PC300 |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System) |
제작사 |
한빛레이저 |
모델명 |
GPPA-A377 |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
원료 증착 시스템(Materials Deposition System with Piezoelectric Inkjet Catridge) |
제작사 |
FUJIFILM |
모델명 |
Dimatix DMP-2850 |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
플라즈마 처리 시스템(Plasma Treatment Machine) |
제작사 |
Nordson |
모델명 |
AP-300 Plasma System |
설치장소 |
C5 720-1호
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장비명 |
패럴린 증착기(Parylene Deposition System) |
제작사 |
Specialty Coating Systems (SCS) - A KISCO Company |
모델명 |
PDS Labcoter 2 (PDS 2010 LABCOTER) |
설치장소 |
C5 720-1호
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
TEMESCAL/BOC COATING TECH |
모델명 |
BDJ 1800 |
설치장소 |
LG연구동 110호
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장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
Park Systems |
모델명 |
XE7 |
설치장소 |
RIST1동 1139호
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장비명 |
원자층 증착기(Atomic Layer Deposition (ALD)) |
제작사 |
CN1 |
모델명 |
Atomic-Basic |
설치장소 |
RIST1동 1139호
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Telemark |
모델명 |
246-28 |
설치장소 |
RIST1동 1145호
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장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
Bruker |
모델명 |
Dimension Icon with ScanAsyst |
설치장소 |
RIST1동 1152호
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장비명 |
고분해능 유도 결합 플라즈마 질량분석기(High Resolution Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer (HR-ICP-MS)) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
ELEMENT XR |
설치장소 |
RIST1동 1304호
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장비명 |
적외선 분광기(Fourier-transform Infrared (FT-IR) Spectrometer) |
제작사 |
Bruker |
모델명 |
VERTEX 70 |
설치장소 |
RIST1동 1306호
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장비명 |
삼중 사극자 유도 결합 플라즈마 질량분석기(Triple Quadrupole Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer (TQ-ICP-MS)) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
iCAP TQ |
설치장소 |
RIST1동 1306호
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장비명 |
유도 결합 플라즈마 분광분석기(Inductively Coupled Plasma-Optical Emission Spectrometry (ICP-OES)) |
제작사 |
AMETEK |
모델명 |
Spectro Arcos |
설치장소 |
RIST1동 1309호
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장비명 |
유도 결합 플라즈마 분광분석기(Inductively Coupled Plasma-Optical Emission Spectrometry (ICP-OES)) |
제작사 |
PerkinElmer |
모델명 |
Optima 8300 |
설치장소 |
RIST1동 1311호
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장비명 |
유도 결합 플라즈마 분광분석기(Inductively Coupled Plasma-Optical Emission Spectrometry (ICP-OES)) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
iCAP 7000 Series |
설치장소 |
RIST1동 1311호
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장비명 |
유도 결합 플라즈마 분광분석기(Inductively Coupled Plasma-Optical Emission Spectrometry (ICP-OES)) |
제작사 |
AMETEK |
모델명 |
Spectro Arcos |
설치장소 |
RIST1동 1311호
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장비명 |
고성능 액체 크로마토그래피(Ultra High Performance Liquid Chromatograph (UHPLC)) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
DIONEX UltiMate 3000 |
설치장소 |
RIST1동 1316호
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장비명 |
고성능 액체 크로마토그래피(Ultra High Performance Liquid Chromatograph (UHPLC)) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
DIONEX UltiMate 3000 |
설치장소 |
RIST1동 1316호
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Selcos |
모델명 |
Cetus-E |
설치장소 |
RIST3동 3104호
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장비명 |
열 화학 기상 증착 장치(Thermal Chemical Vapor Deposition (CVD) System) |
제작사 |
SNTEK |
모델명 |
TCS5000 |
설치장소 |
RIST3동 3104호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Thermal Evaporating System) |
제작사 |
TERALEADER |
모델명 |
TLP1001 |
설치장소 |
RIST3동 3139호
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
iNFOVION |
모델명 |
- |
설치장소 |
RIST3동 3147호
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장비명 |
3D 변형측정시스템(3D Deformation Analysis System) |
제작사 |
GOM international AG |
모델명 |
ARAMIS 12M |
설치장소 |
RIST3동 3188호
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장비명 |
플라즈마 원자층 증착 시스템(Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PE-ALD) System) |
제작사 |
ForALL |
모델명 |
OZONE |
설치장소 |
RIST3동 3223호
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장비명 |
펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System) |
제작사 |
HIGGSLAB |
모델명 |
PLD SYSTEM |
설치장소 |
RIST3동 3263호
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장비명 |
펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System) |
제작사 |
COHERENT |
모델명 |
COMPex Pro 102 F |
설치장소 |
RIST3동 3282호
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장비명 |
X-선광전자분광분석기(XPS xonnectable Deposition system) |
제작사 |
ULVAC-PHI, Inc. |
모델명 |
PHI GENESIS Multi-tech Scanning XPS |
설치장소 |
RIST3동 3360/3362호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Vacuum Thermal Evaporating System) |
제작사 |
WOOSUNG HI-VAC |
모델명 |
- |
설치장소 |
RIST3동 3363호
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장비명 |
고성능 유세포분석기(High Performance Flow Cytometer) |
제작사 |
Becton Dickinson And Company |
모델명 |
FACS Canto II |
설치장소 |
가톨릭대 의생명공학연구소
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장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
Veeco |
모델명 |
Dimension 3100 |
설치장소 |
나노융합기술원 1층 101호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Thermal Evaporating System) |
제작사 |
DDONG High Technologies |
모델명 |
Thermal Evaporator System |
설치장소 |
나노융합기술원 311호
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVE-C300160 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
유기물 증착기(Organic Molecular Beam Deposition (OMBD) & Thermal Evaporator) |
제작사 |
alpha-plus |
모델명 |
OMBD & Thermal |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
금속 유기물 화학기상증착 시스템(Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOVCD) System) |
제작사 |
Jusung Eng. |
모델명 |
Eureka 2000 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
원자층 증착기(Atomic Layer Deposition (ALD)) |
제작사 |
QUROS |
모델명 |
Plus 200 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVE-4000 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
저압 화학증착장치(퍼니스 타입)(Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LP-CVD; Furnace Type)) |
제작사 |
(주)유진테크 |
모델명 |
BJM100 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD)) |
제작사 |
아텍시스템 |
모델명 |
UF-CVD 200 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
유도결합 플라즈마 식각 장치(Inductively Coupled Plasma (ICP) Etcher) |
제작사 |
(주)디엠에스 |
모델명 |
ICP Etcher |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
상압 화학기상증착법(Atmosphere Pressure Chemical Vapor Deposition (APCVD)) |
제작사 |
Watkins Johnson |
모델명 |
WJ-1000T |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
탄소나노튜브 합성 CVD(Carbon Nanotube (CNT) Synthesis Chemical Vapor Deposition (CVD)) |
제작사 |
아텍시스템 |
모델명 |
- |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD)) |
제작사 |
BMR Technology Co. |
모델명 |
HiDep-SC |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVE-C300160 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
드랍세터(Drop Setter for Protein Crystallization) |
제작사 |
FORMULATRIX |
모델명 |
NT8 |
설치장소 |
생명과학관 204호
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장비명 |
플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD)) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVPED-T0583 |
설치장소 |
제1공학관 210호
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장비명 |
건식식각장치(Inductively Coupled Plasma (ICP) Etcher) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVICP-T406530 |
설치장소 |
제1공학관 210호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Thermal Evaporating System) |
제작사 |
GD-Tech |
모델명 |
KVT-2008L |
설치장소 |
제1공학관 210호
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장비명 |
유도 결합 플라즈마 질량분석기(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer (ICP-MS)) |
제작사 |
PerkinElmer |
모델명 |
NexION-300D |
설치장소 |
제1실험동 318호
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장비명 |
다이오드 레이저 조절기(Digital Controller for Diode Lasers) |
제작사 |
Toptica Photonics |
모델명 |
DLC pro |
설치장소 |
제3공학관 402호
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장비명 |
다목적 박막 표면구조 분석 원자 현미경 장비(Muti-purpose Atomic Force Microscope (AFM) System) |
제작사 |
Bruker |
모델명 |
MultiMode 8 |
설치장소 |
제3공학관 529호
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장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
SEIKO INSTRUMENTS INC. |
모델명 |
SPI3800N Pro |
설치장소 |
제5공학관 206-1호
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장비명 |
표면힘측정기(Surface Force Apparatus (SFA)) |
제작사 |
SurForce LLC |
모델명 |
SFA 2000 |
설치장소 |
지곡연구동 230호
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장비명 |
표면힘측정기(Surface Force Apparatus (SFA)) |
제작사 |
SurForce LLC |
모델명 |
SFA 2000 |
설치장소 |
지곡연구동 230호
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장비명 |
유도 결합 플라즈마 분광분석기(Inductively Coupled Plasma-Optical Emission Spectrometry (ICP-OES)) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
iCAP 6500 DUO |
설치장소 |
철강대학원 176호
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장비명 |
TEM용 이온밀링시스템(Ion Milling System for Transmission Electron Microscope (TEM)) |
제작사 |
㈜지엘코퍼레이션 |
모델명 |
Gatan model 691 |
설치장소 |
철강대학원 284호
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장비명 |
금속 판재 인장압축시험기(Sheet Metal Deformation Simulator) |
제작사 |
㈜알앤비 |
모델명 |
RB319 |
설치장소 |
철강대학원 312-4호
|
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장비명 |
금형테스터기(U Draw Test Mold for Servo Press) |
제작사 |
R&B |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 331-3호
|
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장비명 |
스퍼터 / 진공증착 장치(Sputtering / Vacuum Deposition System) |
제작사 |
아이씨티 |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 374호
|
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장비명 |
수소량 분석 시스템(Total Dissolved Solids (TDS) System for Hydrogen Analysis) |
제작사 |
R-Dec |
모델명 |
HTDS-003 |
설치장소 |
철강대학원 435-7호
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장비명 |
고속주조 주편 냉각 및 응고 simulator(Simulator for Solidification and Cooling of a Slab during High Speed Continuous Casting) |
제작사 |
㈜케이에이엠아이 |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 480호
|
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장비명 |
용해용 유도가열 장치(Induction Heating System for Melting) |
제작사 |
PSTEK |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 584호
|
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장비명 |
진공분광계(Fourier Transform Infrared) |
제작사 |
Bruker |
모델명 |
VERTEX 80v with HYPERION 2000 |
설치장소 |
철강대학원 대형실험동
|
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장비명 |
벌지/FLC 시험기(Bulge/Forming Limit Curves (FLC) Tester) |
제작사 |
ERICHSEN |
모델명 |
Model 161 |
설치장소 |
철강대학원 대형실험동
|
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장비명 |
전기화학 분석기(Electrochemical Analyzer System) |
제작사 |
Advanced Measurement Technology |
모델명 |
2101A |
설치장소 |
한국로봇융합연구원 313호
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장비명 |
다중검출 유도결합플라즈마 질량분석기(Multi-Collector Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer (MC-ICP-MS)) |
제작사 |
Nu Instruments Ltd |
모델명 |
Plasma 3 |
설치장소 |
환경공학동 105호
|
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장비명 |
유도 결합 플라즈마 분광분석기(Inductively Coupled Plasma-Optical Emission Spectrometry (ICP-OES)) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
iCAP 7400 |
설치장소 |
환경공학동 106호
|
|
장비명 |
고성능 액체 크로마토그래피(High Performance Liquid Chromatograph (HPLC)) |
제작사 |
Agilent Technologies |
모델명 |
1260 Infinity |
설치장소 |
환경공학동 302호
|
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장비명 |
기판 기반 물질 제작용 아노다이즈(Anodizer for AAO) |
제작사 |
TERALEADER |
모델명 |
TAD-001-2CH |
설치장소 |
환경공학동 302호
|
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장비명 |
적외선 분광기(Fourier-transform Infrared (FT-IR) Spectrometer) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
Nicolet iS50 |
설치장소 |
환경공학동 302호
|
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장비명 |
적외선 분광기(Fourier-transform Infrared (FT-IR) Spectrometer) |
제작사 |
PerkinElmer |
모델명 |
Spectrum Two |
설치장소 |
환경공학동 403호
|
|
장비명 |
표면 물성 측정기(Force Tensiometer) |
제작사 |
Kruss |
모델명 |
K100 |
설치장소 |
환경공학동 403호
|
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장비명 |
고성능 액체 크로마토그래피(High Performance Liquid Chromatograph (HPLC)) |
제작사 |
Waters |
모델명 |
e2695 |
설치장소 |
환경공학동 412호
|
|
장비명 |
적외선 분광기(Fourier-transform Infrared (FT-IR) Spectrometer) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
Nicolet 6700 |
설치장소 |
환경공학동 417호
|
|
장비명 |
적외선 분광기(Fourier-transform Infrared (FT-IR) Spectrometer) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
Nicolet iS50 |
설치장소 |
환경공학동 431호
|
|
장비명 |
적외선 분광기(Fourier-transform Infrared (FT-IR) Spectrometer) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
Nicolet iS20 |
설치장소 |
환경공학동 431호
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