Park Systems의 진보된 교차간섭 제거(XE) 스캔 시스템은 상기에서 언급된 모든 문제들을 효율적으로 해결해 줍니다. 이러한 구성에서는, XY 방향으로만 존재하는 샘플을 스캔하기 위해 2차원 플렉셔 스테이지를 사용하였고, Z 방향으로만 존재하는 탐침 캔틸레버를 스캔하기 위해 압전작동기를 사용하였습니다. XY 스캐너를 위한 플렉셔 스테이지는 고체 알루미늄으로 만들어 졌으며 이것은 XY 스캐너가 높은 직교성과 우수한 면 외 운동 프로파일을 가졌음을 입증합니다. 플렉셔 스테이지는 XY 방향에서 최대 수 백 Hz인 상태의 큰 샘플(최대 1 kg)을 스캔할 수 있습니다. XY 축들이 요구하는 대역폭이 Z 축이 요구하는 대역폭에 비해 훨씬 낮기 때문에 이 스캔 속도는 충분합니다. Z 스캐너를 위한 압전장동기가 사전에 적절하게 미리 설치된다면 큰 푸시풀 힘과 함께 높은 공명 주파수(최대 10 kHz)를 갖습니다.