* 최대배율 10만배 구현(100x~100,000x) * 고 심도, 고 해상도의 수준높은 영상제공 가능 * Mini-SEM 5축 Stage 구성(Tilt 구현) X,Y(40mm), R(360˚), Tilt(45˚), Z(0~35mm) * Variable Aperture(30,50,100,200㎛) 장착에 따른 * Beam Spot Size 조정으로 고 분해능 영상구현 * 자동화된 (Focus, Contrast,Contrast/Brightness, Spot Size, Stigmator) 기능 지원 * 마우스 조작으로 간편하고 다양한 이미지 측정 및 분석 * 폭 넓은 Chamber 구성으로 다양한 시료분석 가능 EDS, BSE, Motorized Stage 등 다양한 확장성 |