 기본정보 |
설비번호 |
10066239 |
장비명(한글) |
 저압 화학증착장치(퍼니스 타입)
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장비명(영문) |
Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LP-CVD; Furnace Type) |
제작사 |
(주)유진테크 |
모델명 |
BJM100 |
| 상세정보 |
장비사양 |
Standard process : SiO2, SiN(PM1), Poly-si, Phos. Doped Poly-Si(PM2)
Process Temperature : 700℃
Process Presuure : 50 ~ 300Torr
Wafer size : up to 8inch wafer
Gases : SiH4, N2O, NH3, N2, Ar(PM1), SiH4, 0.1%PH3, NF3, N2, Ar(PM2) |
활용분야 |
SiO2 : possible to prevent for W electrode oxidation
SiN : easy controllable refractive index 1.9~2.2 for NAND flash device
Poly-si : film microstructure control(columnar, random, amorphous silicon) polycrystalline grain structure control for small, randomly-oriented grains
liner, spacer, hardmask, wet etch stopper, W capping, gate stack electrode |
| 장비운영인력 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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소속 |
나노융합기술원 |
성명 |
최찬호 |
전화 |
054-279-0283 |
이메일 |
chanho@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
장비명 |
유세포 분석기(High-end performance Flow Cytometer) |
제작사 |
BD Biosciences |
모델명 |
LSR Foretessa 4Laser |
설치장소 |
202-1호
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장비명 |
(GLOCAL)고해상도 스펙트럼 유세포 분석기(High parameter Flow Cytometer) |
제작사 |
BD Biosciences |
모델명 |
BD FACS Symphony A5 SE |
설치장소 |
202-1호
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장비명 |
실리콘 카바이드 박스 가열로(SiC Box Furnace) |
제작사 |
(주)아전가열산업 |
모델명 |
AJ-SB1 |
설치장소 |
302호
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장비명 |
초고성능 자동 세포분석기(Ultra High-End Performance Flow Cytometry System) |
제작사 |
Beckman Coulter |
모델명 |
cyotoFLEX LX |
설치장소 |
729호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Thermal Evaporating System) |
제작사 |
대동하이텍 |
모델명 |
DD-GT103R |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
패럴린 증착기(Parylene Deposition System) |
제작사 |
오방테크놀로지 |
모델명 |
OBT-PC300 |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System) |
제작사 |
한빛레이저 |
모델명 |
GPPA-A377 |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
원료 증착 시스템(Materials Deposition System with Piezoelectric Inkjet Catridge) |
제작사 |
FUJIFILM |
모델명 |
Dimatix DMP-2850 |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
패럴린 증착기(Parylene Deposition System) |
제작사 |
Specialty Coating Systems (SCS) - A KISCO Company |
모델명 |
PDS Labcoter 2 (PDS 2010 LABCOTER) |
설치장소 |
C5 720-1호
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장비명 |
3D 굴절현미경(Low coherence holotomography systems) |
제작사 |
Tomocube |
모델명 |
HT-X1 |
설치장소 |
C5, 722호(바이오헬스케어센터)
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
TEMESCAL/BOC COATING TECH |
모델명 |
BDJ 1800 |
설치장소 |
LG연구동 110호
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장비명 |
원자층 증착기(Atomic Layer Deposition (ALD)) |
제작사 |
CN1 |
모델명 |
Atomic-Basic |
설치장소 |
RIST1동 1139호
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Telemark |
모델명 |
246-28 |
설치장소 |
RIST1동 1145호
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장비명 |
글로우 방전 분광 분석기(Glow Discharge Spectrometer) |
제작사 |
LECO |
모델명 |
GDS850A |
설치장소 |
RIST1동 1183호
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장비명 |
글로우 방전 분광 분석기(Glow Discharge Spectrometer) |
제작사 |
LECO |
모델명 |
GDS850A |
설치장소 |
RIST1동 1185호
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장비명 |
글로우 방전 질량분석기(Glow Discharge Mass Spectrometry (GD-MS)) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
ELEMENT GD |
설치장소 |
RIST1동 1302호
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Selcos |
모델명 |
Cetus-E |
설치장소 |
RIST3동 3104호
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장비명 |
열 화학 기상 증착 장치(Thermal Chemical Vapor Deposition (CVD) System) |
제작사 |
SNTEK |
모델명 |
TCS5000 |
설치장소 |
RIST3동 3104호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Thermal Evaporating System) |
제작사 |
TERALEADER |
모델명 |
TLP1001 |
설치장소 |
RIST3동 3139호
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
iNFOVION |
모델명 |
- |
설치장소 |
RIST3동 3147호
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장비명 |
플라즈마 원자층 증착 시스템(Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PE-ALD) System) |
제작사 |
ForALL |
모델명 |
OZONE |
설치장소 |
RIST3동 3223호
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장비명 |
펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System) |
제작사 |
HIGGSLAB |
모델명 |
PLD SYSTEM |
설치장소 |
RIST3동 3263호
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장비명 |
펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System) |
제작사 |
COHERENT |
모델명 |
COMPex Pro 102 F |
설치장소 |
RIST3동 3282호
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장비명 |
수직 전기로(Vertical Tube Furnace) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
LTF 14/-/450 |
설치장소 |
RIST3동 3316호
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장비명 |
X-선광전자분광분석기(XPS xonnectable Deposition system) |
제작사 |
ULVAC-PHI, Inc. |
모델명 |
PHI GENESIS Multi-tech Scanning XPS |
설치장소 |
RIST3동 3360/3362호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Vacuum Thermal Evaporating System) |
제작사 |
WOOSUNG HI-VAC |
모델명 |
- |
설치장소 |
RIST3동 3363호
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장비명 |
고성능 유세포분석기(High Performance Flow Cytometer) |
제작사 |
Becton Dickinson And Company |
모델명 |
FACS Canto II |
설치장소 |
가톨릭대 의생명공학연구소
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장비명 |
초고진공저온 주사터널링현미경(Ultra High Vacuum Low Temperature Scanning Tunneling Microscopy (STM)) |
제작사 |
Unisoku |
모델명 |
USM 1200 |
설치장소 |
나노융합기술원 1층 101호
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장비명 |
고온 열처리로(High Temperature Anneal Furnace) |
제작사 |
ULVAC |
모델명 |
PFS-6000-25 |
설치장소 |
나노융합기술원 216호
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장비명 |
고온 열처리로(High Temperature Anneal Furnace) |
제작사 |
ULVAC |
모델명 |
PFS-6000-25 |
설치장소 |
나노융합기술원 216호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Thermal Evaporating System) |
제작사 |
DDONG High Technologies |
모델명 |
Thermal Evaporator System |
설치장소 |
나노융합기술원 311호
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장비명 |
저에너지 이온 연마기(Gentle Mill (Low Energy Ion Milling System)) |
제작사 |
TechnoOrg Linda |
모델명 |
IV5 |
설치장소 |
나노융합기술원 시편준비실 312호
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVE-C300160 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
유기물 증착기(Organic Molecular Beam Deposition (OMBD) & Thermal Evaporator) |
제작사 |
alpha-plus |
모델명 |
OMBD & Thermal |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
금속 유기물 화학기상증착 시스템(Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOVCD) System) |
제작사 |
Jusung Eng. |
모델명 |
Eureka 2000 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
원자층 증착기(Atomic Layer Deposition (ALD)) |
제작사 |
QUROS |
모델명 |
Plus 200 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVE-4000 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD)) |
제작사 |
아텍시스템 |
모델명 |
UF-CVD 200 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
상압 화학기상증착법(Atmosphere Pressure Chemical Vapor Deposition (APCVD)) |
제작사 |
Watkins Johnson |
모델명 |
WJ-1000T |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
고온열처리용 V-퍼니스(High Temperature Process V-Furnace) |
제작사 |
TEL |
모델명 |
Alpha-808SD |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
습식산화용 V-퍼니스(Wet Oxidation V-Furnace) |
제작사 |
TEL |
모델명 |
Alpha-808SD |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
건식산화용 V-퍼니스(Dry Oxidation V-Furnace) |
제작사 |
TEL |
모델명 |
Alpha-808DN |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
탄소나노튜브 합성 CVD(Carbon Nanotube (CNT) Synthesis Chemical Vapor Deposition (CVD)) |
제작사 |
아텍시스템 |
모델명 |
- |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD)) |
제작사 |
BMR Technology Co. |
모델명 |
HiDep-SC |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
전자빔 증착기(E-beam Evaporating System) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVE-C300160 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
보호막용 플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD) for Passivation) |
제작사 |
TES |
모델명 |
TELIA200 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
수직확산전기로(Vertical Pyro Furnace) |
제작사 |
(주)리드엔지니어링 |
모델명 |
VULCAN-V81RD |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD)) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVPED-T0583 |
설치장소 |
제1공학관 210호
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장비명 |
진공 열증착 시스템(Thermal Evaporating System) |
제작사 |
GD-Tech |
모델명 |
KVT-2008L |
설치장소 |
제1공학관 210호
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장비명 |
저준위 액체섬광분석기(Low Activity Liquid Scintillation Analyzer) |
제작사 |
PerkinElmer |
모델명 |
Tri-Carb 5110 TR |
설치장소 |
제1실험동 318호
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장비명 |
모세관형가열로(Capillary Furnace System) |
제작사 |
Malvern Instruments |
모델명 |
Rosand RH7 |
설치장소 |
제5공학관 206호
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장비명 |
진공-가압 용해 및 연속주조장치(Vacuum-over Pressure Continuous Casting Machine) |
제작사 |
㈜케이에이엠아이 |
모델명 |
VCC 1000 (indutherm) |
설치장소 |
철강대학원 272호
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장비명 |
아크용해로(Arc Melting Furnace) |
제작사 |
아이씨티 |
모델명 |
KHAM-500 |
설치장소 |
철강대학원 374호
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장비명 |
스퍼터 / 진공증착 장치(Sputtering / Vacuum Deposition System) |
제작사 |
아이씨티 |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 374호
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장비명 |
고온열처리 전기로(Tube Furnace) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
Lenton 1500 PTF-15/100/610 |
설치장소 |
철강대학원 380호
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장비명 |
고진공로(High Vacuum Furnace) |
제작사 |
에이티에프(ATF) |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 380호
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장비명 |
고속가열로(High Temperature Rate Furnace) |
제작사 |
아이씨티 |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 380호
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장비명 |
금속 탈탄 열처리 시스템(Tube Type Furnace System) |
제작사 |
㈜베스 |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 380호
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장비명 |
IET 몰드플럭스 시료 제조 장치(High Frequency Induction Furnacer) |
제작사 |
엘텍 |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 480호
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장비명 |
고온가열로(Image Furnace System) |
제작사 |
ULVAC |
모델명 |
MR-39H/D |
설치장소 |
철강대학원 546호
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장비명 |
도가니 부하 시스템(1600 °C Furnace Crucible Leading System) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
LTF-16/75/610 |
설치장소 |
철강대학원 546호
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장비명 |
급속가열장치(Infrared Gold Image Furnace) |
제작사 |
토탈솔루션과학 |
모델명 |
VHT-E44 |
설치장소 |
철강대학원 546호
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장비명 |
저온회화로(Low Temperature Furnace) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
LTF-175/80/350 |
설치장소 |
철강대학원 576호
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장비명 |
수직회화로(Vertical Furnace) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
LTF 17/75/30 |
설치장소 |
철강대학원 584호
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장비명 |
저온회화로(Low Temperature Furnace) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
LTF-17/75/300 |
설치장소 |
철강대학원 584호
|
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장비명 |
고온 수직 전기로(Vertical Tube Furnace) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
Lenton LTF-175/80/350 |
설치장소 |
철강대학원 584호
|
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장비명 |
고온 수직 전기로(Vertical Tube Furnace) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
Lenton LTF-175/80/350 |
설치장소 |
철강대학원 584호
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장비명 |
염욕로(Furnace Salt Bath) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
LSBF-10/45 |
설치장소 |
철강대학원 대형실험동
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장비명 |
고주파 유도 가열 용해로(Vacuum Induction Melting and Casting Furnace) |
제작사 |
ALD Vacuum Technologies |
모델명 |
VIM4 |
설치장소 |
철강대학원 대형실험동
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장비명 |
1400 °C 수직 튜브 열처리 장비(1400 °C Tube furnace) |
제작사 |
Lenton |
모델명 |
LTF-14/75/610 |
설치장소 |
철강대학원 대형실험동
|
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장비명 |
전기화학 분석기(Electrochemical Analyzer System) |
제작사 |
Advanced Measurement Technology |
모델명 |
2101A |
설치장소 |
한국로봇융합연구원 313호
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장비명 |
유세포분석기(Flow Cytometer) |
제작사 |
Beckman Coulter |
모델명 |
B75442 |
설치장소 |
환경공학동 327호
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장비명 |
TFF 시스템(Tangential Flow Filtration (TFF) System) |
제작사 |
MERCK |
모델명 |
Cogent M1 TFF System |
설치장소 |
환경공학동 331호
|
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장비명 |
유체흐름정지 분광광도계(Stopped-flow Spectrometer) |
제작사 |
AppliedPhotophysics |
모델명 |
SX20 |
설치장소 |
환경공학동 334호
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