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임계치수 측정 주사전자현미경(Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM))

장비정보
Equipment InformationEquip. Info.

장비공지
Equip. Notice 장비공지
Equipment Notice

기본정보
설비번호	10063831
장비명(한글)	임계치수 측정 주사전자현미경
장비명(영문)	Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)
제작사	HITACHI
모델명	S-9380
상세정보
장비사양	- Wafer size 300 mm (200 mm) - Resolution 2.0 nm (Accelerating Voltage: 800 V) - Beam energy range 300eV to 1600eV (200eV Optional) - Magnification x110, x220 (Optical Microscope), x1,000 ~ 300,000 (SEM) - Measurement system Cursor on SE intensity line profile - Measurement algorithms Line/space/pitch/edge measurement - Averaged CD-measurement (ACD) - Width and Edge Roughness analysis - 2D contact hole full analysis - Contact hole open/close analysis - Shortest Distance Measurement - Corner Rounding Measurement - Golden Pattern Score Matching - Precision (repeatability/reproducibility) 0.8nm (0.5nm / 0.6nm) - Electron optics Schottky emission, boosting / retarding system - High excitation low aberration lens - Stage (X,Y), Laser interferometer controlled
활용분야	패턴 CD측정
장비운영인력
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
소속	나노융합기술원
성명	이남걸
전화	054-279-0282
이메일	leeng@postech.ac.kr
동일/유사장비정보
장비명	전자스핀공명 분광광도계(Electron Spin Resonance Spectrometer (ESR))
제작사	Bruker Biospin GmbH
모델명	A200
설치장소	3352/3354호

장비명	연구용 삼안 현미경(Reseach Trinocular Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	BX43
설치장소	383호

장비명	투포톤 현미경(3D 홀로그래픽 다광자 현미경)(Ultima 2-Photon Microscope)
제작사	bruker
모델명	Ultims 2P plus
설치장소	C5

장비명	원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM))
제작사	Park Systems
모델명	XE7
설치장소	C5 228호

장비명	도립 현미경(Inverted Microscope)
제작사	MCL
모델명	MCL-NSOM
설치장소	C5 228호

장비명	공초점 레이저 주사 현미경 (Confocal Laser Scanning Microscope )
제작사	Carl Zeiss
모델명	LSM 900 with Airyscan 2
설치장소	C5, 722호(바이오헬스케어센터)

장비명	원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM))
제작사	Park Systems
모델명	XE7
설치장소	RIST1동 1139호

장비명	원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM))
제작사	Bruker
모델명	Dimension Icon with ScanAsyst
설치장소	RIST1동 1152호

장비명	X-선 광전자 분광기(X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe)
제작사	Thermo Scientific
모델명	ESCALAB 250
설치장소	RIST1동 1153호

장비명	전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	Carl Zeiss
모델명	GeminiSEM 500
설치장소	RIST1동 1153호

장비명	전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	Carl Zeiss
모델명	AURIGA
설치장소	RIST1동 1163호

장비명	주사형 오제 전자현미경(Scanning Auger Electron Spectroscopy (AES) Nanoprobe)
제작사	ULVAC-PHI
모델명	PHI 700
설치장소	RIST1동 1163호

장비명	수차보정 주사투과전자현미경(Cs-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope (Cs-STEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-ARM200F
설치장소	RIST1동 1176호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-6480LV
설치장소	RIST1동 1187호

장비명	전계방출 현미경(Field Emission Electron Microscope)
제작사	JEOL
모델명	JEM-2100F
설치장소	RIST1동 1188호

장비명	시차열분석/시차주사열량분석기(Differential Thermal Analysis (DTA)/Differential Scanning Calorimeter (DSC))
제작사	SETARAM Instrumentation
모델명	Labsys DTA/DSC
설치장소	RIST1동 1188호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	HITACHI
모델명	S-3400N
설치장소	RIST1동 1190호

장비명	전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-7600F
설치장소	RIST1동 1192호

장비명	전자선 미소부 분석기(Electron Probe Microanalyzer (EPMA))
제작사	SHIMADZU
모델명	EPMA-1600
설치장소	RIST1동 1194호

장비명	전동 디지털 현미경(Opto-digital Motorizing Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	DSX100
설치장소	RIST2동 2179호

장비명	공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	OLS3000
설치장소	RIST2동 2179호

장비명	주사 투과 전자현미경(Scanning Transmission Electron Microscope (STEM))
제작사	COXEM
모델명	CX-200
설치장소	RIST3동 3188호

장비명	열중량-시차주사열량분석기(Thermogravimetric Analysis-Differential Scanning Calorimetry (TGA-DSC))
제작사	TA Instruments
모델명	SDT Q600
설치장소	RIST3동 3278호

장비명	시차 주사 열량측정기(Differential Scanning Calorimeter (DSC))
제작사	PerkinElmer
모델명	DSC 4000
설치장소	RIST3동 3312호

장비명	편광 현미경(Polarized Stereo Microscope)
제작사	Leica Microsystems
모델명	Z16 APO
설치장소	가속기 저장링동 106호

장비명	도립 형광 현미경(Fluorescence Inverted Microscope)
제작사	Carl Zeiss
모델명	Axio Observer A1
설치장소	가톨릭대 의생명공학연구소

장비명	형광 현미경(Fluorescence Microscope)
제작사	제이원
모델명	Axio Zoom.V16
설치장소	가톨릭대 의생명공학연구소

장비명	주사전자현미경(S.E.M(SCANNING ELECTRON MICROSCOPE))
제작사	JEOL LTD
모델명	JSM-6390LV
설치장소	기계실험동 106호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-7401F
설치장소	나노융합기술원 103호

장비명	원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM))
제작사	Veeco
모델명	Dimension 3100
설치장소	나노융합기술원 1층 101호

장비명	초고진공저온 주사터널링현미경(Ultra High Vacuum Low Temperature Scanning Tunneling Microscopy (STM))
제작사	Unisoku
모델명	USM 1200
설치장소	나노융합기술원 1층 101호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2100F(with STEM Cs corrector)
설치장소	나노융합기술원 TEM 실

장비명	구면수차보정 초고분해능 주사투과전자현미경(Cs Corrected High-Resolution Scanning Transmission Electron Microscope (Cs-corrected HR-STEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2200FS
설치장소	나노융합기술원 TEM-2200FS실

장비명	전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	LEO Elektronrnmikroskopie GmbH
모델명	FE-SEM
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	투과전자현미경(Transmission Electron Microscope (TEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-1011
설치장소	생명공학연구센터 156호

장비명	도립 현미경(Inverted Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	IX81
설치장소	생명공학연구센터 328호

장비명	레이저 미세 해부 시스템(Laser Microdissection Microscope System)
제작사	Carl Zeiss
모델명	PALM MicroBeam
설치장소	생명공학연구센터 341호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2100 (HR)
설치장소	제1공학관 105호

장비명	구면수차보정 초고분해능 주사투과전자현미경(Cs Corrected High-Resolution Scanning Transmission Electron Microscope(Cs-corrected HR-STEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2200FS (UHR)
설치장소	제1공학관 109호

장비명	투과전자현미경(Transmission Electron Microscope (TEM))
제작사	HITACHI
모델명	7600H
설치장소	제1공학관 111호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	HITACHI
모델명	S-3400N
설치장소	제1공학관 111호

장비명	시차 주사 열량측정기(Differential Scanning Calorimeter (DSC))
제작사	SETARAM Instrumentation
모델명	Labsys Evo
설치장소	제1공학관 112호

장비명	주사 프로브 현미경(Scanning Probe Microscope (SPM))
제작사	Veeco
모델명	Dimension 3100
설치장소	제1공학관 208호

장비명	전계방사형 주사전자 현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	PHILIPS ELECTRON OPTICS B.V.
모델명	XL30S FEG
설치장소	제1공학관 306-1호

장비명	도립 현미경(Inverted Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	IX71
설치장소	제2공학관 033호

장비명	고효율 이미징 시스템(Electron Multiplying Charge-Coupled Device (EMCCD))
제작사	Andor
모델명	iXon DU-897
설치장소	제3공학관 006호

장비명	현미경 Stage 및 조절 시스템(Microscope Stage and Controller System)
제작사	Applied Scientific Instrumentation (ASI)
모델명	MS-2000
설치장소	제3공학관 006호

장비명	다목적 박막 표면구조 분석 원자 현미경 장비(Muti-purpose Atomic Force Microscope (AFM) System)
제작사	Bruker
모델명	MultiMode 8
설치장소	제3공학관 529호

장비명	나노시스 SPM 조절 시스템(Nanonis Scanning Probe Microscopy (SPM) Control System)
제작사	SPECS
모델명	SPECS Nanonis Controller
설치장소	제5공학관 008호

장비명	도립 현미경(Inverted Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	CKX41
설치장소	제5공학관 204호

장비명	원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM))
제작사	SEIKO INSTRUMENTS INC.
모델명	SPI3800N Pro
설치장소	제5공학관 206-1호

장비명	열중량-시차주사열량분석기(Thermogravimetric Analysis-Differential Scanning Calorimetry (TGA-DSC))
제작사	Mettler Toledo
모델명	Mettler Toledo AG
설치장소	제5공학관 206호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	Bio-logic SAS
모델명	M470
설치장소	지곡연구동 228호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-6010LV
설치장소	지곡연구동 232호

장비명	정립현미경(Upright Microscope)
제작사	Leica Microsystems
모델명	DM4000 M
설치장소	철강대학원 144-5호

장비명	투과전자현미경(Transmission Electron Microscope (TEM))
제작사	Carl Zeiss
모델명	Ultra-55
설치장소	철강대학원 154-6호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-7100F
설치장소	철강대학원 154-6호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2100F
설치장소	철강대학원 161호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JXA-8530F
설치장소	철강대학원 163호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-7900F
설치장소	철강대학원 163호

장비명	TEM용 이온밀링시스템(Ion Milling System for Transmission Electron Microscope (TEM))
제작사	㈜지엘코퍼레이션
모델명	Gatan model 691
설치장소	철강대학원 284호

장비명	광 자기 커 현미경(Magneto-Optical Kerr-Microscope)
제작사	Evico magnetics GmbH
모델명	Axio Imager D1m
설치장소	철강대학원 374호

장비명	고온시차주사열량계(High Temperature Differential Scanning Calorimeter)
제작사	㈜신코엠앤티
모델명	Labsys Evo DSC
설치장소	철강대학원 480호

장비명	공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope)
제작사	Lasertec Corporation
모델명	VL2000DX
설치장소	철강대학원 546호

장비명	열중량-시차주사열량분석기(Thermogravimetric Analysis-Differential Scanning Calorimetry (TGA-DSC))
제작사	Mettler Toledo
모델명	TGA/DSC1
설치장소	철강대학원 546호

장비명	용융점/접촉각 시스템(Heating Microscope)
제작사	export system solutions s.r.i
모델명	misura hsm
설치장소	철강대학원 572호

장비명	저전압 고분해능 전계방출형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope)
제작사	CARL ZEISS MICROSCOP
모델명	Gemini 360
설치장소	친환경소재대학원 184, 186호

장비명	도립 현미경(Inverted Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	IX73
설치장소	한국로봇융합연구원 411호

장비명	형광 현미경(Fluorescence Microscope)
제작사	Carl Zeiss
모델명	Axiolab
설치장소	환경공학동 206-1호

장비명	광 에너지 전환률 측정기(Incident Photon-to-electron Conversion Efficiency (IPCE) System)
제작사	NEWPORT
모델명	Newport 74125
설치장소	환경공학동 302호

장비명	탁상형 주사전자현미경(Mini Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	SEC
모델명	SNE4500M
설치장소	환경공학동 322호

장비명	열중량-시차주사열량분석기(Thermogravimetric Analysis-Differential Scanning Calorimetry (TGA-DSC))
제작사	TA Instruments
모델명	SDT Q600
설치장소	환경공학동 322호

장비명	형광 금속 현미경(Fluorescence Metallurgical Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	BX60
설치장소	환경공학동 333호

장비명	공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	FV3000
설치장소	환경공학동 333호

장비명	도립 형광 현미경(Inverted Fluorescence Microscope)
제작사	NIKON
모델명	Eclipse Ti2
설치장소	환경공학동 403호

장비명	탁상형 주사전자현미경(Mini Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	SEC
모델명	SNE4000M
설치장소	환경공학동 410호

장비명	공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope)
제작사	Carl Zeiss
모델명	LSM 5
설치장소	환경공학동 414호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-6510
설치장소	환경공학동 414호

사용정보
장비오픈여부	○
자율사용여부	○
사용료	50,000 원/회 (기본표:100,000원)
자산정보
취득금액	\ 1,489,797,383
취득일	2007-08-07
참조사항
첨부파일
URL	https://www.hitachi-hightech.com/global/product_list/?ld=sme1&md=sme1-2&sd=sme1-2-2
키워드
SEM, CD, Hitachi, 6/8 inch