 기본정보 |
설비번호 |
914500435 |
장비명(한글) |
 주사형 오제 전자현미경
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장비명(영문) |
Scanning Auger Electron Spectroscopy (AES) Nanoprobe |
제작사 |
ULVAC-PHI |
모델명 |
PHI 700 |
| 상세정보 |
장비사양 |
(1)구성: 전자총, 분석실, 분광기, 이온총
(2)사양: Beam size 7nm, Sensitivity 700Kcps, Energy resolution 0.5%, Ion Gun Performance 5kV at ≥5㎂, 500eV at ≥0.5 ㎂ |
활용분야 |
(1)미소 부위 관찰 및 오염 검사
(2)금속, 반도체, 표면처리 강판, 전자 소재등의 표면 및 계면 분석과 깊이 방향 분석 |
| 장비운영인력 |
설치장소 |
RIST1동 1163호
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소속 |
포항산업과학연구원(RIST) |
성명 |
담당자 |
전화 |
054-279-6951 |
이메일 |
analysis6951@rist.re.kr |
| 동일/유사장비정보 |
장비명 |
전자스핀공명 분광광도계(Electron Spin Resonance Spectrometer (ESR)) |
제작사 |
Bruker Biospin GmbH |
모델명 |
A200 |
설치장소 |
3352/3354호
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장비명 |
공초점 레이저 주사 현미경 (Confocal Laser Scanning Microscope ) |
제작사 |
Carl Zeiss |
모델명 |
LSM 900 with Airyscan 2 |
설치장소 |
C5, 722호(바이오헬스케어센터)
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장비명 |
동적광산란분광기(Dynamic Light Scattering Spectroscopy) |
제작사 |
제이비사이언티픽 |
모델명 |
Zetasizer Pro |
설치장소 |
RIST 3161호
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장비명 |
X-선 광전자 분광기(X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe) |
제작사 |
Thermo Scientific |
모델명 |
ESCALAB 250 |
설치장소 |
RIST1동 1153호
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장비명 |
전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)) |
제작사 |
Carl Zeiss |
모델명 |
GeminiSEM 500 |
설치장소 |
RIST1동 1153호
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장비명 |
전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)) |
제작사 |
Carl Zeiss |
모델명 |
AURIGA |
설치장소 |
RIST1동 1163호
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장비명 |
수차보정 주사투과전자현미경(Cs-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope (Cs-STEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JEM-ARM200F |
설치장소 |
RIST1동 1176호
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장비명 |
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JSM-6480LV |
설치장소 |
RIST1동 1187호
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장비명 |
전계방출 현미경(Field Emission Electron Microscope) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JEM-2100F |
설치장소 |
RIST1동 1188호
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장비명 |
시차열분석/시차주사열량분석기(Differential Thermal Analysis (DTA)/Differential Scanning Calorimeter (DSC)) |
제작사 |
SETARAM Instrumentation |
모델명 |
Labsys DTA/DSC |
설치장소 |
RIST1동 1188호
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장비명 |
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
HITACHI |
모델명 |
S-3400N |
설치장소 |
RIST1동 1190호
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장비명 |
전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JSM-7600F |
설치장소 |
RIST1동 1192호
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장비명 |
전자선 미소부 분석기(Electron Probe Microanalyzer (EPMA)) |
제작사 |
SHIMADZU |
모델명 |
EPMA-1600 |
설치장소 |
RIST1동 1194호
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장비명 |
공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope) |
제작사 |
OLYMPUS |
모델명 |
OLS3000 |
설치장소 |
RIST2동 2179호
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장비명 |
주사 투과 전자현미경(Scanning Transmission Electron Microscope (STEM)) |
제작사 |
COXEM |
모델명 |
CX-200 |
설치장소 |
RIST3동 3188호
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장비명 |
열중량-시차주사열량분석기(Thermogravimetric Analysis-Differential Scanning Calorimetry (TGA-DSC)) |
제작사 |
TA Instruments |
모델명 |
SDT Q600 |
설치장소 |
RIST3동 3278호
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장비명 |
시차 주사 열량측정기(Differential Scanning Calorimeter (DSC)) |
제작사 |
PerkinElmer |
모델명 |
DSC 4000 |
설치장소 |
RIST3동 3312호
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장비명 |
주사전자현미경(S.E.M(SCANNING ELECTRON MICROSCOPE)) |
제작사 |
JEOL LTD |
모델명 |
JSM-6390LV |
설치장소 |
기계실험동 106호
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장비명 |
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JSM-7401F |
설치장소 |
나노융합기술원 103호
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장비명 |
초고진공저온 주사터널링현미경(Ultra High Vacuum Low Temperature Scanning Tunneling Microscopy (STM)) |
제작사 |
Unisoku |
모델명 |
USM 1200 |
설치장소 |
나노융합기술원 1층 101호
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장비명 |
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JEM-2100F(with STEM Cs corrector) |
설치장소 |
나노융합기술원 TEM 실
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장비명 |
구면수차보정 초고분해능 주사투과전자현미경(Cs Corrected High-Resolution Scanning Transmission Electron Microscope
(Cs-corrected HR-STEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JEM-2200FS |
설치장소 |
나노융합기술원 TEM-2200FS실
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장비명 |
전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)) |
제작사 |
LEO Elektronrnmikroskopie GmbH |
모델명 |
FE-SEM |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
임계치수 측정 주사전자현미경(Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)) |
제작사 |
HITACHI |
모델명 |
S-9380 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
투과전자현미경(Transmission Electron Microscope (TEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JEM-1011 |
설치장소 |
생명공학연구센터 156호
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장비명 |
전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JEM-2100 (HR) |
설치장소 |
제1공학관 105호
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장비명 |
구면수차보정 초고분해능 주사투과전자현미경(Cs Corrected High-Resolution Scanning Transmission Electron Microscope(Cs-corrected HR-STEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JEM-2200FS (UHR) |
설치장소 |
제1공학관 109호
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장비명 |
투과전자현미경(Transmission Electron Microscope (TEM)) |
제작사 |
HITACHI |
모델명 |
7600H |
설치장소 |
제1공학관 111호
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장비명 |
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
HITACHI |
모델명 |
S-3400N |
설치장소 |
제1공학관 111호
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장비명 |
시차 주사 열량측정기(Differential Scanning Calorimeter (DSC)) |
제작사 |
SETARAM Instrumentation |
모델명 |
Labsys Evo |
설치장소 |
제1공학관 112호
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장비명 |
주사 프로브 현미경(Scanning Probe Microscope (SPM)) |
제작사 |
Veeco |
모델명 |
Dimension 3100 |
설치장소 |
제1공학관 208호
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장비명 |
전계방사형 주사전자 현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)) |
제작사 |
PHILIPS ELECTRON OPTICS B.V. |
모델명 |
XL30S FEG |
설치장소 |
제1공학관 306-1호
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장비명 |
고효율 이미징 시스템(Electron Multiplying Charge-Coupled Device (EMCCD)) |
제작사 |
Andor |
모델명 |
iXon DU-897 |
설치장소 |
제3공학관 006호
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장비명 |
나노시스 SPM 조절 시스템(Nanonis Scanning Probe Microscopy (SPM) Control System) |
제작사 |
SPECS |
모델명 |
SPECS Nanonis Controller |
설치장소 |
제5공학관 008호
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장비명 |
열중량-시차주사열량분석기(Thermogravimetric Analysis-Differential Scanning Calorimetry (TGA-DSC)) |
제작사 |
Mettler Toledo |
모델명 |
Mettler Toledo AG |
설치장소 |
제5공학관 206호
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장비명 |
레이저 유도붕괴 분광기(Laser-induced Breakdown Spectroscopy (LIBS)) |
제작사 |
Applied Spectra |
모델명 |
Aurora LIBS module |
설치장소 |
제5공학관 423호
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장비명 |
동적광산란 분광기(Dynamic Light Scattering Spectroscopy) |
제작사 |
Malvern Instruments |
모델명 |
Nano ZS90 |
설치장소 |
제5공학관 423호
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장비명 |
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
Bio-logic SAS |
모델명 |
M470 |
설치장소 |
지곡연구동 228호
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장비명 |
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JSM-6010LV |
설치장소 |
지곡연구동 232호
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장비명 |
투과전자현미경(Transmission Electron Microscope (TEM)) |
제작사 |
Carl Zeiss |
모델명 |
Ultra-55 |
설치장소 |
철강대학원 154-6호
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장비명 |
전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JSM-7100F |
설치장소 |
철강대학원 154-6호
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장비명 |
전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JEM-2100F |
설치장소 |
철강대학원 161호
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장비명 |
전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JXA-8530F |
설치장소 |
철강대학원 163호
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장비명 |
전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JEM-7900F |
설치장소 |
철강대학원 163호
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장비명 |
TEM용 이온밀링시스템(Ion Milling System for Transmission Electron Microscope (TEM)) |
제작사 |
㈜지엘코퍼레이션 |
모델명 |
Gatan model 691 |
설치장소 |
철강대학원 284호
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장비명 |
동적광산란 분광기(Dynamic Light Scattering Spectroscopy) |
제작사 |
Malvern Instruments |
모델명 |
Nano ZS |
설치장소 |
철강대학원 476호
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장비명 |
고온시차주사열량계(High Temperature Differential Scanning Calorimeter) |
제작사 |
㈜신코엠앤티 |
모델명 |
Labsys Evo DSC |
설치장소 |
철강대학원 480호
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장비명 |
공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope) |
제작사 |
Lasertec Corporation |
모델명 |
VL2000DX |
설치장소 |
철강대학원 546호
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장비명 |
열중량-시차주사열량분석기(Thermogravimetric Analysis-Differential Scanning Calorimetry (TGA-DSC)) |
제작사 |
Mettler Toledo |
모델명 |
TGA/DSC1 |
설치장소 |
철강대학원 546호
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장비명 |
광 에너지 전환률 측정기(Incident Photon-to-electron Conversion Efficiency (IPCE) System) |
제작사 |
NEWPORT |
모델명 |
Newport 74125 |
설치장소 |
환경공학동 302호
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장비명 |
탁상형 주사전자현미경(Mini Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
SEC |
모델명 |
SNE4500M |
설치장소 |
환경공학동 322호
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장비명 |
열중량-시차주사열량분석기(Thermogravimetric Analysis-Differential Scanning Calorimetry (TGA-DSC)) |
제작사 |
TA Instruments |
모델명 |
SDT Q600 |
설치장소 |
환경공학동 322호
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장비명 |
공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope) |
제작사 |
OLYMPUS |
모델명 |
FV3000 |
설치장소 |
환경공학동 333호
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장비명 |
탁상형 주사전자현미경(Mini Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
SEC |
모델명 |
SNE4000M |
설치장소 |
환경공학동 410호
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장비명 |
공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope) |
제작사 |
Carl Zeiss |
모델명 |
LSM 5 |
설치장소 |
환경공학동 414호
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장비명 |
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM)) |
제작사 |
JEOL |
모델명 |
JSM-6510 |
설치장소 |
환경공학동 414호
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