 기본정보 |
설비번호 |
10037169 |
장비명(한글) |
 원자층 증착기
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장비명(영문) |
Atomic Layer Deposition (ALD) |
제작사 |
QUROS |
모델명 |
Plus 200 |
| 상세정보 |
장비사양 |
Standard process : Al2O3, HfO2, TiN
Process Temperature : 100 ~ 300℃
Precusor : TMA, TEMAHf, TEMATi (UPChem)
Wafer size : up to 8inch wafer
Gases : Ar, O2, NH3, N2, H2 |
활용분야 |
Al2O3 : high-k material for different semiconductor devices growing thin, conformal, pinhole-free films with featureless microstructure and low stress(in OLED) effective field-effect passivatio(in solar)
HfO2 : the dielectric constant of HfO2 is 4-6 times higher than that of SiO2
TiN : high thermodynamic stability, high corrosion resistance, low friction constant, low electrical resitivity, and high mechanical conductor |
| 장비운영인력 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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소속 |
나노융합기술원 |
성명 |
이정익 |
전화 |
054-279-0267 |
이메일 |
kb3000@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
Park Systems |
모델명 |
XE7 |
설치장소 |
C5 228호
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장비명 |
패럴린 증착기(Parylene Deposition System) |
제작사 |
오방테크놀로지 |
모델명 |
OBT-PC300 |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System) |
제작사 |
한빛레이저 |
모델명 |
GPPA-A377 |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
원료 증착 시스템(Materials Deposition System with Piezoelectric Inkjet Catridge) |
제작사 |
FUJIFILM |
모델명 |
Dimatix DMP-2850 |
설치장소 |
C5 329호
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장비명 |
패럴린 증착기(Parylene Deposition System) |
제작사 |
Specialty Coating Systems (SCS) - A KISCO Company |
모델명 |
PDS Labcoter 2 (PDS 2010 LABCOTER) |
설치장소 |
C5 720-1호
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장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
Park Systems |
모델명 |
XE7 |
설치장소 |
RIST1동 1139호
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장비명 |
원자층 증착기(Atomic Layer Deposition (ALD)) |
제작사 |
CN1 |
모델명 |
Atomic-Basic |
설치장소 |
RIST1동 1139호
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장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
Bruker |
모델명 |
Dimension Icon with ScanAsyst |
설치장소 |
RIST1동 1152호
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장비명 |
원자 흡수 분광기(Atomic Absorption Spectrometer (AAS)) |
제작사 |
Analytik Jena |
모델명 |
contrAA 800 |
설치장소 |
RIST1동 1309호
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장비명 |
열 화학 기상 증착 장치(Thermal Chemical Vapor Deposition (CVD) System) |
제작사 |
SNTEK |
모델명 |
TCS5000 |
설치장소 |
RIST3동 3104호
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장비명 |
플라즈마 원자층 증착 시스템(Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PE-ALD) System) |
제작사 |
ForALL |
모델명 |
OZONE |
설치장소 |
RIST3동 3223호
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장비명 |
펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System) |
제작사 |
HIGGSLAB |
모델명 |
PLD SYSTEM |
설치장소 |
RIST3동 3263호
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장비명 |
펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System) |
제작사 |
COHERENT |
모델명 |
COMPex Pro 102 F |
설치장소 |
RIST3동 3282호
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장비명 |
X-선광전자분광분석기(XPS xonnectable Deposition system) |
제작사 |
ULVAC-PHI, Inc. |
모델명 |
PHI GENESIS Multi-tech Scanning XPS |
설치장소 |
RIST3동 3360/3362호
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장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
Veeco |
모델명 |
Dimension 3100 |
설치장소 |
나노융합기술원 1층 101호
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장비명 |
유기물 증착기(Organic Molecular Beam Deposition (OMBD) & Thermal Evaporator) |
제작사 |
alpha-plus |
모델명 |
OMBD & Thermal |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
금속 유기물 화학기상증착 시스템(Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOVCD) System) |
제작사 |
Jusung Eng. |
모델명 |
Eureka 2000 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
저압 화학증착장치(퍼니스 타입)(Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LP-CVD; Furnace Type)) |
제작사 |
(주)유진테크 |
모델명 |
BJM100 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD)) |
제작사 |
아텍시스템 |
모델명 |
UF-CVD 200 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
상압 화학기상증착법(Atmosphere Pressure Chemical Vapor Deposition (APCVD)) |
제작사 |
Watkins Johnson |
모델명 |
WJ-1000T |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
탄소나노튜브 합성 CVD(Carbon Nanotube (CNT) Synthesis Chemical Vapor Deposition (CVD)) |
제작사 |
아텍시스템 |
모델명 |
- |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD)) |
제작사 |
BMR Technology Co. |
모델명 |
HiDep-SC |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
보호막용 플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD) for Passivation) |
제작사 |
TES |
모델명 |
TELIA200 |
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
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장비명 |
플라즈마 화학 기상 증착기(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD)) |
제작사 |
Korea Vacuum Tech |
모델명 |
KVPED-T0583 |
설치장소 |
제1공학관 210호
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장비명 |
다목적 박막 표면구조 분석 원자 현미경 장비(Muti-purpose Atomic Force Microscope (AFM) System) |
제작사 |
Bruker |
모델명 |
MultiMode 8 |
설치장소 |
제3공학관 529호
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장비명 |
원자간력 현미경(Atomic Force Microscope (AFM)) |
제작사 |
SEIKO INSTRUMENTS INC. |
모델명 |
SPI3800N Pro |
설치장소 |
제5공학관 206-1호
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장비명 |
스퍼터 / 진공증착 장치(Sputtering / Vacuum Deposition System) |
제작사 |
아이씨티 |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
철강대학원 374호
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