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전자선 미소부 분석기(Electron Probe Microanalyzer (EPMA))

장비정보
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장비공지
Equip. Notice 장비공지
Equipment Notice

기본정보
설비번호	914500276
장비명(한글)	전자선 미소부 분석기
장비명(영문)	Electron Probe Microanalyzer (EPMA)
제작사	SHIMADZU
모델명	EPMA-1600
상세정보
장비사양	(1)구성:전자총,이차전자 및 역산란 전자 검출기,EDS검출기,WDS검출기 (2)사양:가속전압30kv,분해능6nm,배율100-50,000,EDS 원소 성분의 검출범위B-U
활용분야	(1)시료 표면의 형상관찰 (2)미소부위 원소 성분의 정성,정량분석
장비운영인력
설치장소	RIST1동 1194호
소속	포항산업과학연구원(RIST)
성명	담당자
전화	054-279-6951
이메일	analysis6951@rist.re.kr
동일/유사장비정보
장비명	전자스핀공명 분광광도계(Electron Spin Resonance Spectrometer (ESR))
제작사	Bruker Biospin GmbH
모델명	A200
설치장소	3352/3354호

장비명	(GLOCAL)공간 전사체 탐침 이동 장치(in situ probe transfer for Spantial transcriptome analysis )
제작사	10xGENOMICS
모델명	Visium CytAssist
설치장소	BOIC [3311호]

장비명	진공프로브스테이션(Vacuum Chamber Probe Station)
제작사	MS TECH
모델명	M6VC
설치장소	C5 330호

장비명	웨이퍼분석 프로브 스테이션(Wafer Prober)
제작사	Cascade Microtech
모델명	Summit 11000
설치장소	C5 330호

장비명	프로브 스테이션(Probe Station)
제작사	MS TECH
모델명	MST8000
설치장소	C5 332호

장비명	프로브 스테이션(Probe Station)
제작사	UNITEK CORPORATION
모델명	-
설치장소	LG연구동 212호

장비명	X-선 광전자 분광기(X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe)
제작사	Thermo Scientific
모델명	ESCALAB 250
설치장소	RIST1동 1153호

장비명	전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	Carl Zeiss
모델명	GeminiSEM 500
설치장소	RIST1동 1153호

장비명	전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	Carl Zeiss
모델명	AURIGA
설치장소	RIST1동 1163호

장비명	주사형 오제 전자현미경(Scanning Auger Electron Spectroscopy (AES) Nanoprobe)
제작사	ULVAC-PHI
모델명	PHI 700
설치장소	RIST1동 1163호

장비명	수차보정 주사투과전자현미경(Cs-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope (Cs-STEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-ARM200F
설치장소	RIST1동 1176호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-6480LV
설치장소	RIST1동 1187호

장비명	전계방출 현미경(Field Emission Electron Microscope)
제작사	JEOL
모델명	JEM-2100F
설치장소	RIST1동 1188호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	HITACHI
모델명	S-3400N
설치장소	RIST1동 1190호

장비명	전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-7600F
설치장소	RIST1동 1192호

장비명	범용 프로브 시스템(Universal Measurement Probe System)
제작사	TERALEADER
모델명	UMP100
설치장소	RIST3동 3170호

장비명	주사 투과 전자현미경(Scanning Transmission Electron Microscope (STEM))
제작사	COXEM
모델명	CX-200
설치장소	RIST3동 3188호

장비명	주사전자현미경(S.E.M(SCANNING ELECTRON MICROSCOPE))
제작사	JEOL LTD
모델명	JSM-6390LV
설치장소	기계실험동 106호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-7401F
설치장소	나노융합기술원 103호

장비명	3D 원자현미경(3D Atom Probe)
제작사	CAMECA Instruments
모델명	LA-WATAP
설치장소	나노융합기술원 105-2호

장비명	국소 레이져 전계형 원자단층현미경(Local Electrode Atom Probe)
제작사	CAMECA Instruments
모델명	LEAP 4000X HR
설치장소	나노융합기술원 105-3호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2100F(with STEM Cs corrector)
설치장소	나노융합기술원 TEM 실

장비명	구면수차보정 초고분해능 주사투과전자현미경(Cs Corrected High-Resolution Scanning Transmission Electron Microscope (Cs-corrected HR-STEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2200FS
설치장소	나노융합기술원 TEM-2200FS실

장비명	전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	LEO Elektronrnmikroskopie GmbH
모델명	FE-SEM
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	주파수측정기(Universal Probe Holder)
제작사	MBRAUN
모델명	MB6000
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	임계치수 측정 주사전자현미경(Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM))
제작사	HITACHI
모델명	S-9380
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	시트 저항 측정 시스템(4 Point Probe)
제작사	(주)에이아이티
모델명	CMT-SR2000N
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	투과전자현미경(Transmission Electron Microscope (TEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-1011
설치장소	생명공학연구센터 156호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2100 (HR)
설치장소	제1공학관 105호

장비명	구면수차보정 초고분해능 주사투과전자현미경(Cs Corrected High-Resolution Scanning Transmission Electron Microscope(Cs-corrected HR-STEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2200FS (UHR)
설치장소	제1공학관 109호

장비명	투과전자현미경(Transmission Electron Microscope (TEM))
제작사	HITACHI
모델명	7600H
설치장소	제1공학관 111호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	HITACHI
모델명	S-3400N
설치장소	제1공학관 111호

장비명	주사 프로브 현미경(Scanning Probe Microscope (SPM))
제작사	Veeco
모델명	Dimension 3100
설치장소	제1공학관 208호

장비명	전계방사형 주사전자 현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
제작사	PHILIPS ELECTRON OPTICS B.V.
모델명	XL30S FEG
설치장소	제1공학관 306-1호

장비명	고효율 이미징 시스템(Electron Multiplying Charge-Coupled Device (EMCCD))
제작사	Andor
모델명	iXon DU-897
설치장소	제3공학관 006호

장비명	나노시스 SPM 조절 시스템(Nanonis Scanning Probe Microscopy (SPM) Control System)
제작사	SPECS
모델명	SPECS Nanonis Controller
설치장소	제5공학관 008호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	Bio-logic SAS
모델명	M470
설치장소	지곡연구동 228호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-6010LV
설치장소	지곡연구동 232호

장비명	투과전자현미경(Transmission Electron Microscope (TEM))
제작사	Carl Zeiss
모델명	Ultra-55
설치장소	철강대학원 154-6호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-7100F
설치장소	철강대학원 154-6호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-2100F
설치장소	철강대학원 161호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JXA-8530F
설치장소	철강대학원 163호

장비명	전계방사형 투과전자 현미경(Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM))
제작사	JEOL
모델명	JEM-7900F
설치장소	철강대학원 163호

장비명	TEM용 이온밀링시스템(Ion Milling System for Transmission Electron Microscope (TEM))
제작사	㈜지엘코퍼레이션
모델명	Gatan model 691
설치장소	철강대학원 284호

장비명	광 에너지 전환률 측정기(Incident Photon-to-electron Conversion Efficiency (IPCE) System)
제작사	NEWPORT
모델명	Newport 74125
설치장소	환경공학동 302호

장비명	탁상형 주사전자현미경(Mini Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	SEC
모델명	SNE4500M
설치장소	환경공학동 322호

장비명	탁상형 주사전자현미경(Mini Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	SEC
모델명	SNE4000M
설치장소	환경공학동 410호

장비명	주사전자현미경(Scanning Electron Microscope (SEM))
제작사	JEOL
모델명	JSM-6510
설치장소	환경공학동 414호

사용정보
장비오픈여부	○
자율사용여부	X
사용료	Inquiry
자산정보
취득금액	\ 0
취득일	1997-04-30
참조사항
첨부파일
URL	https://www.shimadzu.com/an/surface/epma/epma1720.html
키워드
EPMA