설비번호 |
10005257 |
장비명(한글) |
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장비명(영문) |
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제작사 |
KLA TENCOR CORP. |
모델명 |
Alpha-step 500 |
장비사양 |
The Alpha-Step 500 Profiler is a computerized, high-sensitivity surface profiler that measures roughness, waviness, and stop height in a variety of applications. It features the ability to measure micro-roughness with up to 1A (0.004 min.) resolution over short distances as well as waviness over a full, 10-mm (0.4-in.) scan. The Alpha-Step 500 can profile a variety of materials, including: Magnetic disks, Semiconductor wafers, Precision-machined and polished surfaces, Ceramics for micro-electronics, Glass for flat panel displays & Optical surfaces. |
활용분야 |
두께 측정 |
설치장소 |
제1공학관 208호 |
소속 |
신소재공학과 |
성명 |
이종람 |
전화 |
054-279-2152 |
이메일 |
jllee@postech.ac.kr |
장비명 |
표면단차측정기(Surface Profiler) |
제작사 |
Veeco |
모델명 |
Dektak 150 |
설치장소 |
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장비명 |
3D 표면측정 시스템(3D Optical Surface Metrology System) |
제작사 |
Leica Microsystems |
모델명 |
DCM 3D |
설치장소 |
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장비명 |
접촉식 표면 단차측정기(Contact Surface Profiler) |
제작사 |
KLA Tencor |
모델명 |
D-600 |
설치장소 |
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장비명 |
박막측정기(3D Profiler) |
제작사 |
I&A TECHNOLOGY INC. |
모델명 |
3D Profiler |
설치장소 |
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장비명 |
양면 정렬 노광기(Double Side Alignment Stepper) |
제작사 |
ASML |
모델명 |
PAS550 200B |
설치장소 |
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장비명 |
나노 표면 프로파일러(Nano Surface Profiler) |
제작사 |
나노시스템㈜ |
모델명 |
NanoScan-E1000(P) |
설치장소 |
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장비명 |
표면힘측정기(Surface Force Apparatus (SFA)) |
제작사 |
SurForce LLC |
모델명 |
SFA 2000 |
설치장소 |
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장비명 |
표면힘측정기(Surface Force Apparatus (SFA)) |
제작사 |
SurForce LLC |
모델명 |
SFA 2000 |
설치장소 |
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장비명 |
비표면적 분석기(Automated Surface Area&Pore Size Analyzer) |
제작사 |
Chunwoo America, Inc |
모델명 |
NOVA 1000e |
설치장소 |
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장비명 |
나노세공 특성 및 BET 표면적 측정장비(Nanoporosity & Surface Area Analyzer) |
제작사 |
(주)미래에스아이 |
모델명 |
nanoPOROSITY (BET) |
설치장소 |
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장비명 |
비표면적 분석기(Surface Area Analyzer) |
제작사 |
micromeritics |
모델명 |
ASAP 2010 |
설치장소 |
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장비오픈여부 |
○ |
자율사용여부 |
X |
사용료 |
회당 50,000원 |
취득금액 |
\ 48,595,196 |
취득일 |
1998-12-14 |
첨부파일 |
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URL |
https://www.kla-tencor.com/ko |
| 두께 측정, 알파 스텝 | |