 기본정보 |
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설비번호 |
10122528 |
장비명(한글) |
 양면 정렬 노광기
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장비명(영문) |
Double Side Alignment Stepper |
제작사 |
ASML |
모델명 |
PAS550 200B |
| 상세정보 |
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장비사양 |
Hardware Configuration: 2500W Illuminator 2 Elevators, P1, P2 8 inch Wafer configuration PEP1, 2 Installed SUN Sparc 5 Workstation 6 inch Reticle handler Version 2 Level Sensor 2nd ethernet installed Helium Control Type: GCU |
활용분야 |
미세 PATTERN 형성용 |
| 장비운영인력 |
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설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
소속 |
나노융합기술원 |
성명 |
김동현 |
전화 |
054-279-0237 |
이메일 |
best820@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
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장비명 |
더블 모노 크로 메이터(Double monochromator) |
제작사 |
Teledyne Princeton Instruments |
모델명 |
HRS-300 |
설치장소 |
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| 사용정보 |
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장비오픈여부 |
○ |
자율사용여부 |
○ |
사용료 |
기본료 150,000 장/54,000 |
| 자산정보 |
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취득금액 |
\ 120,440,667 |
취득일 |
2015-12-04 |
| 참조사항 |
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첨부파일 |
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URL |
https://www.asml.com/en/products |
| 키워드 |
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| Coating, Developer, Photo Resist, Expose, Reticle | |
