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마스크리스 레이저 리소그래피(Maskless Laser Lithography, MLA150)

장비정보
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장비공지
Equip. Notice 장비공지
Equipment Notice

기본정보
설비번호	10152128
장비명(한글)	마스크리스 레이저 리소그래피
장비명(영문)	Maskless Laser Lithography, MLA150
제작사	주식회사나우
모델명	MLA150
상세정보
장비사양	KEY FEATURES Minimum substrate size: 3 mm x 3 mm Maximum exposure area: 6” x 6” (optional 8”x 8”) Minimum structure size down to 0.6 μm Maximum write speed: 1400 mm2/min at 1 μm feature size Real-time autofocus Overview camera for fast alignment and inspection Front- and backside alignment Temperature-controlled environmental chamber Exposure wavelengths: 405 nm and / or 375 nm Draw Mode for CAD-less exposure Standard Grayscale Exposure Mode High-Aspect Ratio Mode Easy-to-use operating software
활용분야	생명 과학, MEMS, 마이크로 광학, 반도체, 센서, 액추에이터, MOEMS, 재료 연구, 나노 튜브 및 그래 핀이 포함됩니다.잠재적인 응용 분야에는 2D 재료, 전자 장치, 고출력 트랜지스터 및 적외선 감지기가 포함됩니다.
장비운영인력
설치장소	나노융합기술원 2층 216호
소속	나노융합기술원
성명	성민제
전화	054-279-0239
이메일	mjsung10@postech.ac.kr
동일/유사장비정보
장비명	레이저 시스템(Tunable Laser System)
제작사	Amplitude
모델명	Surelite OPO
설치장소	C5 228호

장비명	펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System)
제작사	한빛레이저
모델명	GPPA-A377
설치장소	C5 329호

장비명	레이저 용접 시스템(Laser Mould Welder)
제작사	효성레이저
모델명	-
설치장소	C5 MAKER SPACE 3(지하)

장비명	중 적외선 레이저(Mid-infrared laser)
제작사	Daylight Solutions
모델명	MIRCcat-QT-2100
설치장소	C5 [232호]실험실

장비명	공초점 레이저 주사 현미경 (Confocal Laser Scanning Microscope )
제작사	Carl Zeiss
모델명	LSM 900 with Airyscan 2
설치장소	C5, 722호(바이오헬스케어센터)

장비명	레이저 유도 플라즈마 분광분석기(Tandem Laser-ablation Laser-induced Breakdown Spectrometer (LA-LIBS))
제작사	Applied Spectra
모델명	J200
설치장소	RIST1동 1306호

장비명	레이저 회절 입자 분석기(Laser Diffraction Particle Size Analyzer)
제작사	Malvern Instruments
모델명	MASTERSIZER 2000
설치장소	RIST1동 1320호

장비명	공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	OLS3000
설치장소	RIST2동 2179호

장비명	엑시머 레이저 시스템(Excimer Laser System)
제작사	COHERENT
모델명	COMPex 201 F
설치장소	RIST3동 3263호

장비명	펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System)
제작사	HIGGSLAB
모델명	PLD SYSTEM
설치장소	RIST3동 3263호

장비명	펄스 레이저 증착 시스템(Pulsed Laser Deposition (PLD) System)
제작사	COHERENT
모델명	COMPex Pro 102 F
설치장소	RIST3동 3282호

장비명	색소 레이저(Dye Laser)
제작사	COHERENT
모델명	899
설치장소	RIST3동 3289호

장비명	다이오드 레이져 시스템(Diode Laser System)
제작사	COHERENT
모델명	Chameleon Vision 2
설치장소	기계실험동 206호

장비명	펨토초 펄스 레이저 시스템(Femtosecond Pulse Laser System)
제작사	COHERENT
모델명	Chameleon
설치장소	기계실험동 206호

장비명	레이저 구동 광원(Laser-driven Light Source (LSDS))
제작사	ENERGETIQ TECHNOLOGY
모델명	EQ-1500
설치장소	기계실험동 206호

장비명	레이저 리소그래피 시스템(Laser Lithography system)
제작사	Heidelberg Instruments
모델명	DWL-200
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	레이저 미세 해부 시스템(Laser Microdissection Microscope System)
제작사	Carl Zeiss
모델명	PALM MicroBeam
설치장소	생명공학연구센터 341호

장비명	레이저 시스템(Laser System)
제작사	KIMMON KOHA
모델명	IK3301R-G
설치장소	제1공학관 206호

장비명	엑시머 레이저 시스템(Excimer Laser System)
제작사	LAMBDA PHYSIK AG
모델명	Compex 205
설치장소	제1공학관 208호

장비명	DPSS 레이저(Diode-pumped Solid-state (DPSS) Laser)
제작사	LIGHTHOUSE PHOTONICS
모델명	Sprout-G-12W
설치장소	제2공학관 504호

장비명	반도체 레이저(Tunable Semiconductor Laser)
제작사	Santec
모델명	TSL-550
설치장소	제3공학관 308호

장비명	엑시머 레이저 시스템(Excimer Laser System)
제작사	COHERENT
모델명	COMPex Pro
설치장소	제3공학관 206호

장비명	다이오드 레이저 조절기(Digital Controller for Diode Lasers)
제작사	Toptica Photonics
모델명	DLC pro
설치장소	제3공학관 402호

장비명	펨토초 펄스 레이저 시스템(Femtosecond Pulse Laser System)
제작사	COHERENT
모델명	Chameleon
설치장소	제3공학관 502A호

장비명	엑시머 레이저 시스템(Excimer Laser System)
제작사	COHERENT
모델명	COMPex Pro 199F
설치장소	제3공학관 508호

장비명	펨토초 레이저 시스템(Femtosecond Laser System)
제작사	COHERENT
모델명	Libra
설치장소	제5공학관 406호

장비명	파장 가변형 나노초 레이저(Tunable Wavelength Nanosecond Lasers)
제작사	EKSPLA
모델명	NT352
설치장소	제5공학관 406호

장비명	레이저 유도붕괴 분광기(Laser-induced Breakdown Spectroscopy (LIBS))
제작사	Applied Spectra
모델명	Aurora LIBS module
설치장소	제5공학관 423호

장비명	레이저 회절 입자 분석기(Laser Diffraction Particle Size Analyzer)
제작사	Malvern Instruments
모델명	MASTERSIZER 2000
설치장소	철강대학원 546호

장비명	공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope)
제작사	Lasertec Corporation
모델명	VL2000DX
설치장소	철강대학원 546호

장비명	매트릭스 보조 레이저 탈착 이온화 질량분석기(Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization Time-of-Flight (MALDI-TOF) Mass Spectrometer)
제작사	BRUKER
모델명	Autoflex Speed LRF
설치장소	화학관 112호

장비명	매트릭스 보조 레이저 탈착 이온화 질량분석기(Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization Time-of-Flight (MALDI-TOF) Mass Spectrometer)
제작사	Bruker
모델명	Autoflex Max LRF
설치장소	환경공학동 320호

장비명	공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	FV3000
설치장소	환경공학동 333호

장비명	공초점 레이저 주사 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope)
제작사	Carl Zeiss
모델명	LSM 5
설치장소	환경공학동 414호

사용정보
장비오픈여부	X
자율사용여부	X
사용료	200,000원/시간
자산정보
취득금액	\ 569,860,860
취득일	2020-04-03
참조사항
첨부파일
URL	https://heidelberg-instruments.com/
키워드
미세유체,OSTEmers,오버레이 정확도,MEMS, 믹스 & 매치 리소그래피,대형 처리량 서브미크론 피쳐