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시트 저항 측정 시스템(4 Point Probe)

장비정보
Equipment InformationEquip. Info.

장비공지
Equip. Notice 장비공지
Equipment Notice

기본정보
설비번호	10065976
장비명(한글)	시트 저항 측정 시스템
장비명(영문)	4 Point Probe
제작사	(주)에이아이티
모델명	CMT-SR2000N
상세정보
장비사양	Sheet resistance measurement Method : contacted by four point probe Rage : 1 mohm.sq ~ 2 Mohm/sq Current Source : 10nA ~ 100mA Wafer size : up to 8inch wafer
활용분야	Silicon wafer 를 전자동으로 표면저항을 측정할 수 있는 측정 전용 PC 를 이용하여 원격제어가 가능, 측정한 Data 를 분석할 수 있는 기능 을 제공
장비운영인력
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
소속	나노융합기술원
성명	이정익
전화	054-279-0267
이메일	kb3000@postech.ac.kr
동일/유사장비정보
장비명	(GLOCAL)공간 전사체 탐침 이동 장치(in situ probe transfer for Spantial transcriptome analysis )
제작사	10xGENOMICS
모델명	Visium CytAssist
설치장소	BOIC [3311호]

장비명	진공프로브스테이션(Vacuum Chamber Probe Station)
제작사	MS TECH
모델명	M6VC
설치장소	C5 330호

장비명	웨이퍼분석 프로브 스테이션(Wafer Prober)
제작사	Cascade Microtech
모델명	Summit 11000
설치장소	C5 330호

장비명	프로브 스테이션(Probe Station)
제작사	MS TECH
모델명	MST8000
설치장소	C5 332호

장비명	프로브 스테이션(Probe Station)
제작사	UNITEK CORPORATION
모델명	-
설치장소	LG연구동 212호

장비명	X-선 광전자 분광기(X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe)
제작사	Thermo Scientific
모델명	ESCALAB 250
설치장소	RIST1동 1153호

장비명	주사형 오제 전자현미경(Scanning Auger Electron Spectroscopy (AES) Nanoprobe)
제작사	ULVAC-PHI
모델명	PHI 700
설치장소	RIST1동 1163호

장비명	전자선 미소부 분석기(Electron Probe Microanalyzer (EPMA))
제작사	SHIMADZU
모델명	EPMA-1600
설치장소	RIST1동 1194호

장비명	범용 프로브 시스템(Universal Measurement Probe System)
제작사	TERALEADER
모델명	UMP100
설치장소	RIST3동 3170호

장비명	400 MHz 핵자기공명분광분석기(400 MHz Nuclear Magnetic Resonance (NMR) Spectrometer)
제작사	Bruker
모델명	Avance 400
설치장소	RIST3동 3391호

장비명	3D 원자현미경(3D Atom Probe)
제작사	CAMECA Instruments
모델명	LA-WATAP
설치장소	나노융합기술원 105-2호

장비명	국소 레이져 전계형 원자단층현미경(Local Electrode Atom Probe)
제작사	CAMECA Instruments
모델명	LEAP 4000X HR
설치장소	나노융합기술원 105-3호

장비명	주파수측정기(Universal Probe Holder)
제작사	MBRAUN
모델명	MB6000
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	주사 프로브 현미경(Scanning Probe Microscope (SPM))
제작사	Veeco
모델명	Dimension 3100
설치장소	제1공학관 208호

장비명	나노시스 SPM 조절 시스템(Nanonis Scanning Probe Microscopy (SPM) Control System)
제작사	SPECS
모델명	SPECS Nanonis Controller
설치장소	제5공학관 008호

장비명	1400 °C 수직 튜브 열처리 장비(1400 °C Tube furnace)
제작사	Lenton
모델명	LTF-14/75/610
설치장소	철강대학원 대형실험동

장비명	열간압연기(Pilot 4Hi-Hot Rolling Mill)
제작사	PTW sreel solution
모델명	특수제작
설치장소	철강대학원 대형실험동

사용정보
장비오픈여부	○
자율사용여부	○
사용료	30,000원/매(직접사용 20,000원)
자산정보
취득금액	\ 31,200,000
취득일	2008-03-14
참조사항
첨부파일
URL	http://www.fpp.co.kr/products/products_06.html
키워드
Sheet, Resistance, Rs, point, Ohm/sq, Thickness