 기본정보 |
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설비번호 |
10072149 |
장비명(한글) |
 마스크 정렬기
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장비명(영문) |
Mask Aligner |
제작사 |
SUSS MICROTEC LITHOFAOPHY GMBH |
모델명 |
MA8 |
| 상세정보 |
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장비사양 |
8, 200*200mm |
활용분야 |
마스크 정렬 노광용 8' BSA 가능 |
| 장비운영인력 |
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설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
소속 |
나노융합기술원 |
성명 |
김동현 |
전화 |
054-279-0237 |
이메일 |
best820@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
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장비명 |
자외선 평행광 조사 시스템(Mask Aligner and Exposure System) |
제작사 |
MIDAS SYSTEM |
모델명 |
MDA-400M |
설치장소 |
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장비명 |
마스크리스 레이저 리소그래피(Maskless Laser Lithography, MLA150) |
제작사 |
주식회사나우 |
모델명 |
MLA150 |
설치장소 |
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장비명 |
자외선 평행광 조사 시스템(Mask Aligner) |
제작사 |
(주)신코 |
모델명 |
MA6 |
설치장소 |
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장비명 |
자외선 평행광 조사 시스템(Mask Aligner) |
제작사 |
KARL SUSS KG-GMBH |
모델명 |
MJB 3 |
설치장소 |
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장비명 |
자외선 평행광 조사 시스템(Mask Aligner and Exposure System) |
제작사 |
PROWIN |
모델명 |
M150P |
설치장소 |
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| 사용정보 |
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장비오픈여부 |
○ |
자율사용여부 |
○ |
사용료 |
직접이용 : 60,000원/매, 서비스 : 80,000원/매 |
| 자산정보 |
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취득금액 |
\ 452,667,493 |
취득일 |
2008-06-30 |
| 참조사항 |
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첨부파일 |
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URL |
https://www.suss.com/en |
| 키워드 |
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| Mask Aligner, Mask, Aligner | |
