 기본정보 |
|
설비번호 |
10063833 |
장비명(한글) |
 습식 세정장치
|
장비명(영문) |
Wet Station (Acid) |
제작사 |
High Integrated Technology (HIT) |
모델명 |
HWC-MCP |
| 상세정보 |
|
장비사양 |
Buffer tank for SPM, SC1 chemical drain Auto chemical management system Wafer size : 2 ~ 8 inch Temperature controllable |
활용분야 |
Pre-cleaning (acid, alkali, organic) Post-cleaning (PR, organic removal) Wet etch (oxide, nitride etch & strip) |
| 장비운영인력 |
|
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
소속 |
나노융합기술원 |
성명 |
이정익 |
전화 |
054-279-0267 |
이메일 |
kb3000@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
|
장비명 |
진공프로브스테이션(Vacuum Chamber Probe Station) |
제작사 |
MS TECH |
모델명 |
M6VC |
설치장소 |
|
장비명 |
프로브 스테이션(Probe Station) |
제작사 |
MS TECH |
모델명 |
MST8000 |
설치장소 |
|
장비명 |
분석용 프로빙 스테이션(Analytical Probing Station) |
제작사 |
The Micromanipulator Company |
모델명 |
No. 6000 |
설치장소 |
|
장비명 |
분석용 프로빙 스테이션(Analytical Probing Station) |
제작사 |
The Micromanipulator Company |
모델명 |
No. 7100 |
설치장소 |
|
장비명 |
프로브 스테이션(Probe Station) |
제작사 |
UNITEK CORPORATION |
모델명 |
- |
설치장소 |
|
장비명 |
대기조절배양작업대(Modular Atmosphere Control Workstation System) |
제작사 |
Don Whitley Scientific |
모델명 |
Don Whitley Scientific A55 |
설치장소 |
|
장비명 |
수작업 습식 세정장치(Air Station (Wet, Gas)) |
제작사 |
ATIS |
모델명 |
Manual Wet Station |
설치장소 |
|
장비명 |
수작업 습식 세정장치(Air Station (Wet, Gas)) |
제작사 |
ATIS |
모델명 |
Manual Wet Station |
설치장소 |
|
장비명 |
습식산화용 V-퍼니스(Wet Oxidation V-Furnace) |
제작사 |
TEL |
모델명 |
Alpha-808SD |
설치장소 |
|
장비명 |
SOFC 단전지 장기성능 평가장치(Solid Oxide Fuel Cell (SOFC) Test Station) |
제작사 |
나라셀텍(주) |
모델명 |
특수제작 |
설치장소 |
|
| 사용정보 |
|
장비오픈여부 |
○ |
자율사용여부 |
○ |
사용료 |
SPM,SC1 : 150,000원(직접사용 120,000원) DHF : 100,000원(직접사용 80,000원) H3PO4, SC2, TMAH, BOE, KOH : 300,000원(직접사용 250,000원) |
| 자산정보 |
|
취득금액 |
\ 73,150,000 |
취득일 |
2008-02-21 |
| 참조사항 |
|
첨부파일 |
|
URL |
http://www.hitinc.co.kr/home/product/sub01.php |
| 키워드 |
|
| SPM, SC1, DHF, H3PO4, SC2, TMAH, BOE, KOH, cleaning, etch, strip, removal | |
