연구장비지원포털(RETINA)

수직확산전기로(Vertical Pyro Furnace)

장비정보
Equipment InformationEquip. Info.

장비공지
Equip. Notice 장비공지
Equipment Notice

기본정보
설비번호	10124593
장비명(한글)	수직확산전기로
장비명(영문)	Vertical Pyro Furnace
제작사	(주)리드엔지니어링
모델명	VULCAN-V81RD
상세정보
장비사양	Vertical Pyro Furnace
활용분야	건식/습식 산화막 성장
장비운영인력
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
소속	나노융합기술원
성명	황현주
전화	054-279-0226
이메일	hjh81@postech.ac.kr
동일/유사장비정보
장비명	실리콘 카바이드 박스 가열로(SiC Box Furnace)
제작사	(주)아전가열산업
모델명	AJ-SB1
설치장소	302호

장비명	수직 전기로(Vertical Tube Furnace)
제작사	Lenton
모델명	LTF 14/-/450
설치장소	RIST3동 3316호

장비명	수직형 머시닝센터(Vertical Machining Center)
제작사	두산공작기계
모델명	DNM 750Ⅱ
설치장소	기계공작동 100호

장비명	고온 열처리로(High Temperature Anneal Furnace)
제작사	ULVAC
모델명	PFS-6000-25
설치장소	나노융합기술원 216호

장비명	고온 열처리로(High Temperature Anneal Furnace)
제작사	ULVAC
모델명	PFS-6000-25
설치장소	나노융합기술원 216호

장비명	저압 화학증착장치(퍼니스 타입)(Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LP-CVD; Furnace Type))
제작사	(주)유진테크
모델명	BJM100
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	고온열처리용 V-퍼니스(High Temperature Process V-Furnace)
제작사	TEL
모델명	Alpha-808SD
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	습식산화용 V-퍼니스(Wet Oxidation V-Furnace)
제작사	TEL
모델명	Alpha-808SD
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	건식산화용 V-퍼니스(Dry Oxidation V-Furnace)
제작사	TEL
모델명	Alpha-808DN
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	모세관형가열로(Capillary Furnace System)
제작사	Malvern Instruments
모델명	Rosand RH7
설치장소	제5공학관 206호

장비명	아크용해로(Arc Melting Furnace)
제작사	아이씨티
모델명	KHAM-500
설치장소	철강대학원 374호

장비명	고온열처리 전기로(Tube Furnace)
제작사	Lenton
모델명	Lenton 1500 PTF-15/100/610
설치장소	철강대학원 380호

장비명	고진공로(High Vacuum Furnace)
제작사	에이티에프(ATF)
모델명	특수제작
설치장소	철강대학원 380호

장비명	고속가열로(High Temperature Rate Furnace)
제작사	아이씨티
모델명	특수제작
설치장소	철강대학원 380호

장비명	금속 탈탄 열처리 시스템(Tube Type Furnace System)
제작사	㈜베스
모델명	특수제작
설치장소	철강대학원 380호

장비명	IET 몰드플럭스 시료 제조 장치(High Frequency Induction Furnacer)
제작사	엘텍
모델명	특수제작
설치장소	철강대학원 480호

장비명	고온가열로(Image Furnace System)
제작사	ULVAC
모델명	MR-39H/D
설치장소	철강대학원 546호

장비명	도가니 부하 시스템(1600 °C Furnace Crucible Leading System)
제작사	Lenton
모델명	LTF-16/75/610
설치장소	철강대학원 546호

장비명	급속가열장치(Infrared Gold Image Furnace)
제작사	토탈솔루션과학
모델명	VHT-E44
설치장소	철강대학원 546호

장비명	저온회화로(Low Temperature Furnace)
제작사	Lenton
모델명	LTF-175/80/350
설치장소	철강대학원 576호

장비명	수직회화로(Vertical Furnace)
제작사	Lenton
모델명	LTF 17/75/30
설치장소	철강대학원 584호

장비명	저온회화로(Low Temperature Furnace)
제작사	Lenton
모델명	LTF-17/75/300
설치장소	철강대학원 584호

장비명	고온 수직 전기로(Vertical Tube Furnace)
제작사	Lenton
모델명	Lenton LTF-175/80/350
설치장소	철강대학원 584호

장비명	고온 수직 전기로(Vertical Tube Furnace)
제작사	Lenton
모델명	Lenton LTF-175/80/350
설치장소	철강대학원 584호

장비명	염욕로(Furnace Salt Bath)
제작사	Lenton
모델명	LSBF-10/45
설치장소	철강대학원 대형실험동

장비명	고주파 유도 가열 용해로(Vacuum Induction Melting and Casting Furnace)
제작사	ALD Vacuum Technologies
모델명	VIM4
설치장소	철강대학원 대형실험동

장비명	1400 °C 수직 튜브 열처리 장비(1400 °C Tube furnace)
제작사	Lenton
모델명	LTF-14/75/610
설치장소	철강대학원 대형실험동

사용정보
장비오픈여부	○
자율사용여부	X
사용료	SiO2 : 450,000 / SiC oxidation : 550,000 / SiC Gate oxidation : 650,000
자산정보
취득금액	\ 117,150,000
취득일	2016-08-09
참조사항
첨부파일
URL	http://www.lead-eng.co.kr/
키워드
Si&SiC Gate Oxidation, 정연 산화막 성장, Oxidation furnace