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금속막 식각 장치(Special Metal Dry Etcher)

장비정보
Equipment InformationEquip. Info.

장비공지
Equip. Notice 장비공지
Equipment Notice

기본정보
설비번호	10122533
장비명(한글)	금속막 식각 장치
장비명(영문)	Special Metal Dry Etcher
제작사	ULVAC
모델명	NE 7800
상세정보
장비사양	ULVAC NE 7800
활용분야	METAL, 세라믹, 폴리머 건식 식각
장비운영인력
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
소속	나노융합기술원
성명	김수곤
전화	054-279-0227
이메일	sukoni@postech.ac.kr
동일/유사장비정보
장비명	동결건조기(FREEZE DRYER)
제작사	ilShin BioBase
모델명	Clean Vac 8
설치장소	C5 332호

장비명	금속 분말 3차원 조형 장비(Metal Additive Manufacturing Machine)
제작사	Concept Laser GmbH
모델명	M2 cusing SL400W
설치장소	기계공작동 202호

장비명	고속회전 건조기(Spin Dryer (High Spin))
제작사	KSM
모델명	KSD-6001
설치장소	나노융합기술원 216호

장비명	금속 유기물 화학기상증착 시스템(Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOVCD) System)
제작사	Jusung Eng.
모델명	Eureka 2000
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	회전 건조기(Spin Dryer)
제작사	PTLKorea
모델명	8300S
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	유도결합 플라즈마 식각 장치(Inductively Coupled Plasma (ICP) Etcher)
제작사	(주)디엠에스
모델명	ICP Etcher
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	건식산화용 V-퍼니스(Dry Oxidation V-Furnace)
제작사	TEL
모델명	Alpha-808DN
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	실리콘 고종횡비 식각장치(Deep Reactive Ion Etcher (DRIE))
제작사	SPTS
모델명	Pegasus
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	건식식각장치(Inductively Coupled Plasma (ICP) Etcher)
제작사	Korea Vacuum Tech
모델명	KVICP-T406530
설치장소	제1공학관 210호

장비명	금속 판재 인장압축시험기(Sheet Metal Deformation Simulator)
제작사	㈜알앤비
모델명	RB319
설치장소	철강대학원 312-4호

장비명	범용 시험기(Universal Sheet Metal Testing Machine)
제작사	ERICHSEN
모델명	145-60
설치장소	철강대학원 331-3호

장비명	에어드라이어(Air Dryer)
제작사
모델명	K-MT4
설치장소	화학관 122호

장비명	동결건조기(Freeze Dryer)
제작사	EYELA
모델명	DRC-1000/FDU-2110
설치장소	환경공학동 331호

장비명	동결건조기(Freeze Dryer)
제작사	EYELA
모델명	FD-550P
설치장소	환경공학동 331호

장비명	형광 금속 현미경(Fluorescence Metallurgical Microscope)
제작사	OLYMPUS
모델명	BX60
설치장소	환경공학동 333호

사용정보
장비오픈여부	○
자율사용여부	○
사용료	55,000 원/회 (기본료 : 100,000원)
자산정보
취득금액	\ 94,560,433
취득일	2015-12-04
참조사항
첨부파일
URL	https://www.ulvac.co.jp/
키워드
Etcher, ICP, Metal