 기본정보 |
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설비번호 |
10066212 |
장비명(한글) |
 감광제 회전 도포기
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장비명(영문) |
Photoresist (PR) Spin Coater |
제작사 |
SAWATEC Solutions AG |
모델명 |
LSM 250 |
| 상세정보 |
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장비사양 |
spinning rotation 8,000 rpm ± 1rpm |
활용분야 |
PR 도포 및 BAKE 수동진행 |
| 장비운영인력 |
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설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
소속 |
나노융합기술원 |
성명 |
김동현 |
전화 |
054-279-0237 |
이메일 |
best820@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
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장비명 |
전자스핀공명 분광광도계(Electron Spin Resonance Spectrometer (ESR)) |
제작사 |
Bruker Biospin GmbH |
모델명 |
A200 |
설치장소 |
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장비명 |
고진공 카본 증착기(High Vacuum Carbon Coater) |
제작사 |
Cressington |
모델명 |
208carbon |
설치장소 |
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장비명 |
고속회전 건조기(Spin Dryer (High Spin)) |
제작사 |
KSM |
모델명 |
KSD-6001 |
설치장소 |
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장비명 |
고분자 유기 반도체 물질 도포 장치(Spin Coater with Glove Box) |
제작사 |
세명에버에너지(주) |
모델명 |
- |
설치장소 |
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장비명 |
회전 건조기(Spin Dryer) |
제작사 |
PTLKorea |
모델명 |
8300S |
설치장소 |
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장비명 |
감광제 제거 장치(Photoresist (PR) Descum) |
제작사 |
PSK |
모델명 |
DAS-2000 |
설치장소 |
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장비명 |
감광제 제거 장치(Photoresist (PR) Asher) |
제작사 |
PSK |
모델명 |
DAS-2000 |
설치장소 |
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| 사용정보 |
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장비오픈여부 |
○ |
자율사용여부 |
○ |
사용료 |
매/30,000 |
| 자산정보 |
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취득금액 |
\ 133,961,365 |
취득일 |
2007-04-25 |
| 참조사항 |
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첨부파일 |
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URL |
https://sawatec.com/ |
| 키워드 |
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| Coating, Photo Resist | |
