 기본정보 |
|
설비번호 |
10092063 |
장비명(한글) |
 감광제 제거 장치
|
장비명(영문) |
Photoresist (PR) Asher |
제작사 |
PSK |
모델명 |
DAS-2000 |
| 상세정보 |
|
장비사양 |
DAS-2000 |
활용분야 |
FEOL 공정의 잔류 PR 제거 및 ETCH |
| 장비운영인력 |
|
설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
소속 |
나노융합기술원 |
성명 |
김수곤 |
전화 |
054-279-0227 |
이메일 |
sukoni@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
|
장비명 |
감광제 회전 도포기(Photoresist (PR) Spin Coater) |
제작사 |
SAWATEC Solutions AG |
모델명 |
LSM 250 |
설치장소 |
|
장비명 |
감광제 제거 장치(Photoresist (PR) Descum) |
제작사 |
PSK |
모델명 |
DAS-2000 |
설치장소 |
|
| 사용정보 |
|
장비오픈여부 |
○ |
자율사용여부 |
○ |
사용료 |
30,000 원/회 (기본료 : 50,000 원) |
| 자산정보 |
|
취득금액 |
\ 137,480,628 |
취득일 |
2011-03-23 |
| 참조사항 |
|
첨부파일 |
|
URL |
https://psktech.en.ec21.com/ |
| 키워드 |
|
| Asher, PR Ashing | |
