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습식산화용 V-퍼니스(Wet Oxidation V-Furnace)

장비정보
Equipment InformationEquip. Info.

기본정보
설비번호	10072077
장비명(한글)	습식산화용 V-퍼니스
장비명(영문)	Wet Oxidation V-Furnace
제작사	TEL
모델명	Alpha-808SD
상세정보
장비사양	Only 8
활용분야	습식열산화막 성장
장비운영인력
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸
소속	나노융합기술원
성명	황현주
전화	054-279-0226
이메일	hjh81@postech.ac.kr
동일/유사장비정보
장비명	수작업 습식 세정장치(Air Station (Wet, Gas))
제작사	ATIS
모델명	Manual Wet Station
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	수작업 습식 세정장치(Air Station (Wet, Gas))
제작사	ATIS
모델명	Manual Wet Station
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	습식 세정장치(Wet Station (Acid))
제작사	High Integrated Technology (HIT)
모델명	HWC-MCP
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	고온열처리용 V-퍼니스(High Temperature Process V-Furnace)
제작사	TEL
모델명	Alpha-808SD
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸

장비명	건식산화용 V-퍼니스(Dry Oxidation V-Furnace)
제작사	TEL
모델명	Alpha-808DN
설치장소	나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸