 기본정보 |
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설비번호 |
10066370 |
장비명(한글) |
 분광 타원계
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장비명(영문) |
Spectroscopic Ellipsometer |
제작사 |
Ellipso Technology |
모델명 |
Elli-SE-F |
| 상세정보 |
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장비사양 |
Thickness range: sub ~ 10 μm (depends on film type) |
활용분야 |
표면형상측정 |
| 장비운영인력 |
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설치장소 |
RIST3동 3104호 |
소속 |
신소재공학과 |
성명 |
김종규 |
전화 |
054-279-2149 |
이메일 |
kimjk@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
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장비명 |
분광 타원계(Spectroscopic Ellipsometer) |
제작사 |
J.A. Woollam |
모델명 |
M-2000 |
설치장소 |
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| 사용정보 |
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장비오픈여부 |
○ |
자율사용여부 |
X |
사용료 |
Free |
| 자산정보 |
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취득금액 |
\ 51,700,000 |
취득일 |
2008-04-23 |
| 참조사항 |
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첨부파일 |
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URL |
http://www.ellipsotech.com/eng/bbs/board.php?bo_table=01_01&wr_id=22 |
| 키워드 |
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| 표면형상측정 | |
