 기본정보 |
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설비번호 |
10065977 |
장비명(한글) |
 분광 타원계
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장비명(영문) |
Spectroscopic Ellipsometer |
제작사 |
J.A. Woollam |
모델명 |
M-2000 |
| 상세정보 |
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장비사양 |
Thcikness, Index measurement Standard Mode : film thickness, index, roughess, muti-layer thickness, crtstallinity, composition Wafer size : up to 8inch wafer |
활용분야 |
박막 두께 및 굴절률, 표면 거칠기, Band Gap Energy 등 측정 |
| 장비운영인력 |
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설치장소 |
나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
소속 |
나노융합기술원 |
성명 |
황현주 |
전화 |
054-279-0226 |
이메일 |
hjh81@postech.ac.kr |
| 동일/유사장비정보 |
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장비명 |
분광 타원계(Spectroscopic Ellipsometer) |
제작사 |
Ellipso Technology |
모델명 |
Elli-SE-F |
설치장소 |
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| 사용정보 |
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장비오픈여부 |
○ |
자율사용여부 |
○ |
사용료 |
30,000원/매 |
| 자산정보 |
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취득금액 |
\ 136,880,328 |
취득일 |
2007-07-31 |
| 참조사항 |
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첨부파일 |
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URL |
https://www.jawoollam.com/products/m-2000-ellipsometer |
| 키워드 |
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| Thickness, Index, Roughess, Spectroscopic, Ellipsometer, RI | |
