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| 모델명 | GT-100 | ||
| 운영자 | 담당자 | 운영부서 | 포항산업과학연구원(RIST) |
| 운영자 | 담당자 | ||
| 운영부서 | 포항산업과학연구원(RIST) | ||
| 제조사 | SUGA | 설치장소 | RIST1동 1272호 |
| 제조사1 | SUGA | ||
| 설치장소 | RIST1동 1272호 | ||
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| 모델명 | BGM-201R | ||
| 운영자 | 조성규 | 운영부서 | 철강대학원 |
| 운영자 | 조성규 | ||
| 운영부서 | 철강대학원 | ||
| 제조사 | 토탈솔루션과학 | 설치장소 | 철강대학원 546호 |
| 제조사1 | 토탈솔루션과학 | ||
| 설치장소 | 철강대학원 546호 | ||
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| 모델명 | PVIM | ||
| 운영자 | 김완주 | 운영부서 | 철강대학원 |
| 운영자 | 김완주 | ||
| 운영부서 | 철강대학원 | ||
| 제조사 | 현대진공엔지니어링 | 설치장소 | 철강대학원 대형실험동 |
| 제조사1 | 현대진공엔지니어링 | ||
| 설치장소 | 철강대학원 대형실험동 | ||
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| 모델명 | K-Series ID CHAMBER | ||
| 운영자 | 담당자 | 운영부서 | 포항산업과학연구원(RIST) |
| 운영자 | 담당자 | ||
| 운영부서 | 포항산업과학연구원(RIST) | ||
| 제조사 | JEIO TECH | 설치장소 | RIST3동 3009호 |
| 제조사1 | JEIO TECH | ||
| 설치장소 | RIST3동 3009호 | ||
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| 모델명 | DAS-2000 | ||
| 운영자 | 김수곤 | 운영부서 | 나노융합기술원 |
| 운영자 | 김수곤 | ||
| 운영부서 | 나노융합기술원 | ||
| 제조사 | PSK | 설치장소 | 나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
| 제조사1 | PSK | ||
| 설치장소 | 나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 | ||
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| 모델명 | DAS-2000 | ||
| 운영자 | 김수곤 | 운영부서 | 나노융합기술원 |
| 운영자 | 김수곤 | ||
| 운영부서 | 나노융합기술원 | ||
| 제조사 | PSK | 설치장소 | 나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
| 제조사1 | PSK | ||
| 설치장소 | 나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 | ||
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| 모델명 | LSM 250 | ||
| 운영자 | 김동현 | 운영부서 | 나노융합기술원 |
| 운영자 | 김동현 | ||
| 운영부서 | 나노융합기술원 | ||
| 제조사 | SAWATEC Solutions AG | 설치장소 | 나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
| 제조사1 | SAWATEC Solutions AG | ||
| 설치장소 | 나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 | ||
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| 모델명 | Alpha-808DN | ||
| 운영자 | 황현주 | 운영부서 | 나노융합기술원 |
| 운영자 | 황현주 | ||
| 운영부서 | 나노융합기술원 | ||
| 제조사 | TEL | 설치장소 | 나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 |
| 제조사1 | TEL | ||
| 설치장소 | 나노융합기술원 클린룸동 2층 클린룸 | ||
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| 모델명 | KVICP-T406530 | ||
| 운영자 | 이종람 | 운영부서 | 신소재공학과 |
| 운영자 | 이종람 | ||
| 운영부서 | 신소재공학과 | ||
| 제조사 | Korea Vacuum Tech | 설치장소 | 제1공학관 210호 |
| 제조사1 | Korea Vacuum Tech | ||
| 설치장소 | 제1공학관 210호 | ||
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| 모델명 | PDL 1000 | ||
| 운영자 | 곽현정 | 운영부서 | 반도체대학원 |
| 운영자 | 곽현정 | ||
| 운영부서 | 반도체대학원 | ||
| 제조사 | Semilab | 설치장소 | RIST 3동 3116/3118호 |
| 제조사1 | Semilab | ||
| 설치장소 | RIST 3동 3116/3118호 | ||